高純氣體分析儀為確保儀器的正常運行，分析儀器作為計量儀器的一種，必須每年經過*按照國家制訂的規程進行檢測，方能許可使用。同時，每年還需要用系列標準氣體檢查儀器在整個線性范圍內的線性關系是否保持正常的狀態。否則盲目相信分析儀器（即使是進口儀器）的完好程度肯定會使錯誤的數據導致生產管理及質量管理上的失誤。

高純氣體分析儀是測量氣體成分的流程分析儀表。在很多生產過程中，特別是在存在化學反應的生產過程中，僅僅根據溫度、壓力、流量等物理參數進行自動控制常常是不夠的。由于被分析氣體的千差萬別和分析原理的多種多樣，氣體分析儀的種類繁多。常用的有熱導式氣體分析儀、電化學式氣體分析儀和紅外線吸收式分析儀等。

主要利用氣體傳感器來檢測環境中存在的氣體種類，氣體傳感器是用來檢測氣體的成份和含量的傳感器。一般認為，氣體傳感器的定義是以檢測目標為分類基礎的，也就是說，凡是用于檢測氣體成份和濃度的傳感器都稱作氣體傳感器，不管它是用物理方法，還是用化學方法。比如，檢測氣體流量的傳感器不被看作氣體傳感器，但是熱導式氣體分析儀卻屬于重要的氣體傳感器，盡管它們有時使用大體*的檢測原理。

根據不同氣體具有不同熱傳導能力的原理，通過測定混合氣體導熱系數來推算其中某些組分的含量。這種分析儀表簡單可靠,適用的氣體種類較多,是一種基本的分析儀表。但直接測量氣體的導熱系數比較困難，所以實際上常把氣體導熱系數的變化轉換為電阻的變化，再用電橋來測定。熱導式氣體分析儀的熱敏元件主要有半導體敏感元件和金屬電阻絲兩類。半導體敏感元件體積小、熱慣性小，電阻溫度系數大,所以靈敏度高,時間滯后小。