1. 項目S500 (規格Type AR111)質量流量計 外部密封氟橡膠接觸氣體材料SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼調節閥類型非通電時常閉滿量程流量(N2換算流量)10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min

1,2,3,5,10,20,30 L/min流量控制范圍2%～99%F.S. (0.1～5V DC)流量測量范圍0～99%F.S. (0～5V DC)響應時間（輸出電壓）1秒　(保證 1.5秒以內T98)工作環境溫度5～45℃(精度保證　15～35℃)流量精度±1.0%F.S線性±0.5%F.S.重復性±0.2%F.S.工作壓差10mL/min～5L/min :50～300kPa(d)

10L/min～30L/min :100～300kPa(d)大工作（使用）壓力300 kPa(G)耐壓3MPa(G)泄漏率1×10^-8Pa?m³/s(He)以下流量設定信號0.1～5VDC(2%～99%F.S.)流量輸出信號0～5VDC(0%～99%F.S.)供電電源+15V±5% 100mA以下
－15V±5% 150mA以下管路接頭1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR安裝角度任意電氣接頭D-Sub　15pin輸入輸出阻抗輸入：1MΩ以上　　輸出：3mA以下附加功能Auto-zero、Auto-close

**滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內

2. S500 (規格Type AR111)質量流量計 外形尺寸

3.電氣接口