黎明濾芯過(guò)濾效率和壽命試驗(yàn)過(guò)濾效率是指測(cè)定被濾除的特定粒子的百分比，濾清器壽命則以堵塞試驗(yàn)壓差大于0.07MPa的時(shí)間表示。在國(guó)外項(xiàng)目中和國(guó)內(nèi)新項(xiàng)目中，F(xiàn)8過(guò)濾器是非均勻流潔凈室較常見(jiàn)的預(yù)過(guò)濾器。對(duì)于芯片廠100級(jí)，10級(jí)或更高級(jí)別的潔凈廠房，預(yù)過(guò)濾器的常見(jiàn)效率級(jí)別為H10，許多新項(xiàng)目索性選用HEPA。在國(guó)內(nèi)過(guò)去的潔凈室空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)中，過(guò)濾器常見(jiàn)配置為：粗效中效高效。那時(shí)高效過(guò)濾器的使用壽命僅為1--3年，差的也就幾個(gè)月。可見(jiàn)，預(yù)過(guò)濾器的效率高低決定末端過(guò)濾器使用的壽命。空氣過(guò)濾器的迅速發(fā)展是與軍事工業(yè)和電子工業(yè)的發(fā)展緊密相關(guān)的。在*次大戰(zhàn)期間，由于各種化學(xué)毒劑的使用，以石棉纖維過(guò)濾紙作為濾煙層的防毒面具應(yīng)運(yùn)而生。玻璃纖維過(guò)濾介質(zhì)用于空氣過(guò)濾于1940年10月在美國(guó)取得50年代，美國(guó)對(duì)玻璃纖維過(guò)濾紙的生產(chǎn)工藝進(jìn)行了深入的研究，使空氣過(guò)濾器得到了改善和發(fā)展。60年代，HEPA過(guò)濾器問(wèn)世；70年代，采用微細(xì)玻璃纖維過(guò)濾紙作為過(guò)濾介質(zhì)的HEPA過(guò)濾器，對(duì)013微米粒徑的粒子過(guò)濾效率高達(dá)99.9998%。八十年代以來(lái)，隨著新的測(cè)試方法的出現(xiàn)、使用評(píng)價(jià)的提高及對(duì)過(guò)濾性能要求的提高，發(fā)現(xiàn)HEPA過(guò)濾器存在著嚴(yán)重的問(wèn)題，于是又產(chǎn)生了性能更高的ULPA過(guò)濾器。各國(guó)仍在努力研究，估計(jì)不久就會(huì)出現(xiàn)更*的空氣過(guò)濾器。黎明濾芯