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廣州迪川儀器儀表有限公司
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清潔、干燥氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用美國流量傳感芯片來研發制作，適用于各類清潔、干燥氣體。
清潔、干燥氣體質量流量傳感器
產品簡介：
FS4001氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用美國流量傳感芯片來研發制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
siargo ltd FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。
產品特點：
清潔、干燥氣體質量流量傳感器
主要參數：
性能參數 | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
量程比 | ≥100:1 |
| |
精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
| |
輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） |
| |
機械接口 | 可拆式軟管接頭 |
| |
校準方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
| |
重量 | 15 | g | |
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