艾里卡特MCE系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。
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艾里卡特MCES系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于腐蝕性氣體。
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艾里卡特MCV系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。
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艾里卡特MCVS系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量,適用于腐蝕性氣體。MCVS還配有一個下游用的氣動截止閥。
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