鍍層厚度測試檢測材料表面的金屬和氧化物覆層的厚度測試。檢測方法有 1. 金相法 2. 庫侖法 3. X-ray 方法。
鍍層厚度測試標(biāo)準(zhǔn)
鍍層厚度檢測(金相法)
GB/T 6462-2005 金屬和氧化物覆蓋層 厚度測量顯微鏡法
ASTM B487-07 用橫斷面顯微觀察法測定金屬及氧化層厚度的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
ISO 1463-2003 金屬和氧化物覆蓋層.覆蓋層厚度的測定.顯微鏡法
EN ISO 1643-2004 金屬和氧化物覆蓋層.覆蓋層厚度的測定.顯微鏡法
JIS H8501-1999 鍍層厚度試驗(yàn)方法
AS 2331.1.1-2001 鍍層厚度試驗(yàn)方法
鍍層厚度檢測(XRF)
GB/T 16921-2005 金屬覆蓋層覆蓋層厚度測量X射線光譜法
ISO 3497-2000 金屬鍍層.鍍層厚度的測量.X射線光譜測定法
DIN EN ISO 3497-2001 金屬鍍層.鍍層厚度的測量.X射線光譜測定法
ASTM B568-09 用X射線光度法測量鍍層厚度的標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)方法
ASTM A754-08 X射線熒光涂層厚度的試驗(yàn)方法
JIS H8501-1999 金屬覆層厚度試驗(yàn)方法
鍍層厚度檢測(電鏡掃描法)
ASTM B748-90(2010) 通過用掃描電子顯微鏡測量橫截面來測量金屬涂層厚度的試驗(yàn)方法
鍍層厚度試驗(yàn)方法
金相法:
利用金相顯微鏡原理,對(duì)鍍層厚度進(jìn)行放大,以便準(zhǔn)確的觀測及測量。采用金相顯微鏡檢測橫斷面,以測量金屬覆蓋層、氧化膜層的局部厚度的方法。一般厚度檢測需要大于1um,才能保證測量結(jié)果在誤差范圍之內(nèi);厚度越大,誤差越小。
庫侖法:
用適當(dāng)?shù)碾娊庖宏枠O溶解精確限定面積的覆蓋層,電解池電壓的急劇變化表明覆蓋層實(shí)質(zhì)上*溶解,經(jīng)過所耗的電量計(jì)算出覆蓋層的厚度。因陽極溶解的方法不同,被測量覆蓋層的厚度所耗的電量也不同。用恒定電流密度溶解時(shí),可由試驗(yàn)開始到試驗(yàn)終止的時(shí)間計(jì)算;用非恒定電流密度溶解時(shí),由累積所耗電量計(jì)算,累積所耗電量由電量計(jì)累計(jì)顯示。適合測量單層和多層金屬覆蓋層厚度陽極溶解庫侖法,包括測量多層體系,如Cu/Ni/Cr以及合金覆蓋層和合金化擴(kuò)散層的厚度。不僅可以測量平面試樣的覆蓋層厚度,還可以測量圓柱形和線材的覆蓋層厚度,尤其適合測量多層鎳鍍層的金屬及其電位差。測量鍍層的種類為Au、Ag、Zn、Cu、Ni、dNi、Cr。
X-ray 方法:
X射線光譜方法測定覆蓋層厚度是基于一束強(qiáng)烈而狹窄的多色X射線與基體和覆蓋層的相互作用。此相互作用產(chǎn)生離散波長和能量的二次輻射,這些二次輻射具有構(gòu)成覆蓋層和基體元素特征。覆蓋層單位面積質(zhì)量(若密度已知,則為覆蓋層線性厚度)和二次輻射強(qiáng)度之間存在一定的關(guān)系。該關(guān)系首先由已知單位面積質(zhì)量的覆蓋層校正標(biāo)準(zhǔn)塊校正確定。若覆蓋層材料的密度已知,同時(shí)又給出實(shí)際的密度,則這樣的標(biāo)準(zhǔn)塊就能給出覆蓋層線性厚度。適用于測定電鍍及電子線路板等行業(yè)需要分析的金屬覆蓋層厚度。 包括:金(Au),銀(Ag),錫(Sn),銅(Cu),鎳(Ni),鉻(Cr)等金屬元素厚度。
GB/T 6462-2005
GB/T 6462-2005 影響測量鍍層厚度不確定度的因素
1 表面粗糙度
如果覆蓋層或覆蓋層基體表面是粗糙的,那么與覆蓋層橫斷面接觸的一條或兩條界面線是不規(guī)則的,以致不能精確測量。
2 橫斷面的斜度
如果橫斷面不垂直于待測覆蓋層平面,那么測量的厚度將大于真實(shí)厚度。例如:垂直度偏差 100,將產(chǎn)生 1,5% 的誤差。
3 菠蓋層變形
鑲嵌試樣和制備橫斷面的過程中,過高的溫度和壓力將使軟的或低熔點(diǎn)的覆蓋層產(chǎn)生有害變形;在制備脆性材料橫斷面時(shí),過度的打磨也同樣會(huì)產(chǎn)生變形。
4 覆蓋層邊緣倒角
如果覆蓋層橫斷面邊緣倒角,即覆蓋層橫斷面與邊緣不*平整,采用顯微鏡測量則得不到真實(shí)厚度。不正確的鑲嵌、研磨、拋光和浸蝕都會(huì)引起邊緣倒角,因此在鑲嵌之前,待測試樣常要附加鍍層,這樣可使邊緣倒角減至小。
5 附加鍍層
在制備橫斷面時(shí),為了保護(hù)覆蓋層的邊緣,以避免測量誤差,常在待測試樣上附加鍍層。在附加鍍層前的表面準(zhǔn)備過程中,覆蓋層材質(zhì)的除去將導(dǎo)致厚度測量值偏低。
6 浸蝕
適當(dāng)?shù)慕g能在兩種金屬的界面線上產(chǎn)生細(xì)而清晰的黑線;過度的浸蝕會(huì)使界面線不清晰或線條變寬,使測量產(chǎn)生誤差。
7 遮蓋
不適當(dāng)?shù)膾伖饣蚋郊渝兏曹浗饘贂?huì)使一種金屬遮蓋在另一種金屬上,造成覆蓋層和基體之間的界面線模糊。為了減輕遮蓋的影響,可反復(fù)制備金屬鍍層的橫斷面,直至厚度測量出現(xiàn)重現(xiàn),或附加鍍覆較硬的金屬。
8 放大率
對(duì)于待測的任何一個(gè)覆蓋層厚度,測量誤差一般隨放大率減小而增大。選擇放大率時(shí)應(yīng)使顯微鏡視野為覆蓋層厚度的 1.5 倍一3 倍。
9 載物合測微計(jì)的校正
載物臺(tái)測微計(jì)校正時(shí)的誤差將反映到試樣的測量中。標(biāo)尺必須經(jīng)過嚴(yán)密的校正或驗(yàn)證,否則會(huì)產(chǎn)生百分之幾的誤差。常用的校準(zhǔn)方法是:以滿標(biāo)尺的長度為準(zhǔn)確值,然后使用線性測微計(jì)測量每格長度,根據(jù)比例算出每格刻度值。
10 測微計(jì)目鏡的校正
線性測微計(jì)目鏡可提供的測厚方法。目鏡經(jīng)校準(zhǔn),測量將更為準(zhǔn)確。因校準(zhǔn)與操作者的人為因素有關(guān),因而目鏡應(yīng)由測量操作者進(jìn)行校準(zhǔn)。重復(fù)校正測微計(jì)目鏡可希望得到小于1% 的誤差。校正載物臺(tái)測微計(jì)的兩條線的間距應(yīng)在0.2μm或0.1% 中較大一個(gè)的范圍內(nèi) 若載物臺(tái)測微計(jì)未作精度驗(yàn)證,則應(yīng)校正。
11 對(duì)位
測微計(jì)目鏡移動(dòng)時(shí)的齒間游移也能引起測量誤差。為消除這種誤差,應(yīng)保證對(duì)位過程中準(zhǔn)線后移動(dòng)始終朝同一方向。
12 放大率的一致性
放大率在整個(gè)視野內(nèi)不一致就會(huì)出現(xiàn)誤差,因此,要保證將待測界面置于光軸中心,并且在視野的同一位置進(jìn)行校準(zhǔn)和測量