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上海攜豐流體設備有限公司
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應用半導體、平板顯示器和光伏行業用于為半導體生產系統供應高純氣體產品特性高精度壓力測量0.15%RSS的長期穩定性信號降噪和屏蔽真空基準壓力測量主動溫度補償描述可靠WUD-2x系列高純傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結合，能夠為當前市場需求提供安全、準確的壓力測量
應用
半導體、平板顯示器和光伏行業
用于為半導體生產系統供應高純氣體
產品特性
高精度壓力測量0.15 % RSS
的長期穩定性
信號降噪和屏蔽
真空基準壓力測量
主動溫度補償
描述
可靠
WUD-2x系列高純傳感器將*的傳感器理念與模擬輸出信號相結合，能夠為當前市場需求提供安全、準確的壓力測量。
基于真正真空基準的壓力測量技術，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測量技術，確保了高精度壓力測量以及優異的長期穩定性。
主動溫度補償可降低溫度變化對傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時的焦耳湯姆遜效應。
WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設計，可承受安裝帶來的扭曲應力。特殊的薄膜設計可消除過程連接或焊接接縫處的負載造成的傳感器失效風險。
多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統中。明亮的LED顯示屏可旋轉，因此可從任意位置輕松查看讀數。
配備2個可編程開關輸出，可針對具體應用進行監測及控制。
結構緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場合，甚至可輕松對現有裝置進行改裝。
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