產品簡介：

 單靶等離子濺射儀是一種已經通過CE認證的緊湊型等離子濺射儀。用于金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜。樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300埃。特別適用于SEM樣品的鍍膜。本品包括真空泵和預置一個金靶。

主要特點：

單靶等離子濺射儀主要特點如下：

1. 配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監控儀器狀態；
2. 濺射電流調整控制器、微型真空氣閥。在工作時結合內部自動控制電路很容易控制真空室壓強、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體
3. 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現象；
4. 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用；
5. 根據電場中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

技術參數：

 單靶等離子濺射儀主要技術參數：

1、輸入電源：220V，總功率小于2000W(包括真空泵)；

2、樣品室尺寸：直徑160mm,高度120mm;

3、樣品臺：直徑50mm,可以同時給8個SEM樣品鍍膜，樣品臺高度可調。均勻鍍膜區域為直徑45mm;

4、氣氛控制：針閥控制氣體流量，已取得更好的鍍層效果;

5、外形尺寸：長400mmx寬300mmx高400mm;

6、凈重：約30公斤；

7、保質期和證書：1年保質期及CE認證證書。

產品規格：

標準配件：

可選配件：

金、銦、銀、鉑等各種靶材