空氣分子污染物對于高科技生產過程是關鍵性因素，特別是微電子行業，有機污染物是生產過程中的消極因素，會導致高科技公司因產品質量問題而產生的成本增加。無空氣分子污染物生產是理想的生產目標，通過污染物源頭控制、傳播控制，實時監控污染物濃度并結合多級過濾器以及新風系統來實現，持久監測AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩定生產、預防過濾器突發性壽命減少等。
空氣分子污染物監測集成了多點監測系統，可依序將氣體抽送到分析儀或傳感器，并讀出測量結果。儀器基于腔增強吸收光譜技術，極簡使用、便捷操作，所有部件（包括內置真空泵、鍵盤、鼠標、顯示器等）幾分鐘內可開始記錄數據，其他大氣中的水汽、CO2、O2、甲烷等不會對HCL、HF、NH3等測量構成交叉干擾。內置計算機可以存儲大量數據到內置硬盤上，可同過數字接口或者模擬接口傳輸數據，可通過互聯網遠程存儲或記錄數據，高質量的數據庫，適合于苛刻的半導體痕量級氣體應用。
空氣分子污染物監測設備的工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復雜混合物常用的技術，這種技術依賴于揮發性有機混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當不同的揮發性有機物從色譜柱分離出來后通過氫氣/空氣火焰離子檢測器探測電導率的變化，從而確定不同組份的濃度，吹掃和載氣系統可使儀器達到sub-ppb檢測限。
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