等離子廢氣處理器應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。
等離子廢氣處理器在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到氣態污染物的目的。
等離子廢氣處理器去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：
1、電場＋電子→電子
2、電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團
3、活性基團＋分子(原子)→生成物+熱
4、活性基團＋活性基團→生成物+熱
等離子廢氣處理器去除污染物的原理：
等離子廢氣處理器技術處理污染物的原理為：低溫等離子設備在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev，低溫等離子設備適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理中的一項具有優勢的高，等離子體受到了化工廢氣治理方面的高度評價。
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生的危害，工業廢氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化。低溫等離子設備因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
廣泛應用于：
▲石化、化工、醫藥、塑膠、印刷等行業產生的各類揮發性污染物（VOC）。
▲污水處理廠、垃圾處理廠、公廁、垃圾打包站、泵站、市政、卷煙廠、香精廠、屠宰場等產生的各類惡臭、異味氣體等。
▲醫院、餐飲、賓館、娛樂場所、車船、航空候車室等公共場所及辦公室、家庭、轎車、實驗室等產生的甲醛、苯、氨等有毒氣體及微生物、懸浮顆粒物等。
▲大型火力發電廠、水泥廠、鋼鐵廠等產生的二氧化硫、粉塵、油煙等。
▲無菌實驗室、病房、手術室、無塵化工廠等。
