污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
湖南頂立科技有限公司
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更新時間:2022-03-24 11:58:15瀏覽次數(shù):585次
聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線碳化鉭涂層爐主要用于熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、耐溫?zé)g材料的表面碳化鉭涂層制備
采用*的控制技術(shù),能精密控制TaCl5、CH4的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動小;
多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/TaCl5/CH4。
參數(shù)/型號 | HCVD-101015-TaC | HCVD-152023-TaC | VCVD-0608-TaC | VCVD-0612-TaC | VCVD-0812-TaC | VCVD-1120-TaC | VCVD-1218-TaC | VCVD-1520-TaC |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C分度號
紅外儀:單比色/雙比色
真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組
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商鋪:http://www.kindlingtouch.com/st608493/
主營產(chǎn)品:3D打印技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用服務(wù),銷售;機械設(shè)備的研發(fā);環(huán)保設(shè)備生產(chǎn);機械設(shè)備、五金產(chǎn)品及電子產(chǎn)品批發(fā);機
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