污水處理設(shè)備 污泥處理設(shè)備 水處理過濾器 軟化水設(shè)備/除鹽設(shè)備 純凈水設(shè)備 消毒設(shè)備|加藥設(shè)備 供水/儲(chǔ)水/集水/排水/輔助 水處理膜 過濾器濾芯 水處理濾料 水處理劑 水處理填料 其它水處理設(shè)備
湖南頂立科技有限公司
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更新時(shí)間:2022-03-24 11:57:02瀏覽次數(shù):221次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線熱解碳化硼生長(zhǎng)爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,如OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備
采用*的控制技術(shù),能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動(dòng)小;
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
多通道工藝氣路,流場(chǎng)均勻,無(wú)沉積死角,沉積效果好;
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng),維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。
參數(shù)/型號(hào) | VCVD-0305-BN | VCVD-0608-BN | VCVD-0612-BN | VCVD-0812-BN | VCVD-1120-BN | VCVD-1218-BN | VCVD-1315-BN | VCVD-1520-BN |
工作區(qū)尺寸 φ×H(mm) | 300×500 | 600×800 | 600×1200 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1300×1500 | 1500×2000 |
溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗(yàn)收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式:立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC
熱電偶:C分度號(hào)
紅外儀:?jiǎn)伪壬?雙比色
真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
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商鋪:http://www.kindlingtouch.com/st608493/
主營(yíng)產(chǎn)品:3D打印技術(shù)的研發(fā)與應(yīng)用服務(wù),銷售;機(jī)械設(shè)備的研發(fā);環(huán)保設(shè)備生產(chǎn);機(jī)械設(shè)備、五金產(chǎn)品及電子產(chǎn)品批發(fā);機(jī)
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