SF6氣體作為一種優良的絕緣介質和滅弧介質，廣泛應用于輸電和變電站設備中。對于高壓斷路器、變壓器和其他主要輸電和變電站設備中的SF6氣體，應滿足兩個要求：首先，SF6氣體的壓力應達到額定水平；其次，SF6氣體中的含水量應符合規定要求。因此，在運行中應定期測試SF6氣體的年泄漏率和含水率。
1、SF6監測儀早期氣體監測技術
當電氣設備密封不良導致SF6氣體泄漏時，壓力表指針將隨著壓力下降而偏轉。當壓力降至黃色區域時，連接到SF6監控斷路器信號電路的電觸點接通，并發出報警信號。如果未及時添加SF6氣體，且壓力持續下降至紅色區域，則連接至斷路器控制電路的電氣觸點將啟動中間繼電器，并阻止斷路器的打開和關閉操作。對于非綜合自動化變電站，沒有SF6氣體壓力信號的數據采集，以實現數據的遠程傳輸。同時，壓力表不能反映SF6氣體的含水量。目前，廣泛使用的方法是使用露點儀進行測試。由于測試以每年一次的周期進行，因此離線監測。此外，由于測試過程中會產生SF6氣體排放，因此不可避免地會造成環境污染。
2、SF6監測儀氣體在線監測技術的應用現狀
(1) SF6氣體密度在線監測技術
最近的研究表明，SF6氣體的絕緣電弧性能不僅與空氣壓力有關，而且與密度密切相關。在SF6監測儀上的一系列測試中，當SF6氣體密度恒定且壓力降低時，最小電弧時間平均僅增加0.35m。在氣體壓力恒定、SF6氣體密度降低的情況下，最小電弧時間平均增加1.2 m。因此，SF6氣體密度比空氣壓力更能反映斷路器的綠色中斷和電弧性能。SF6氣體在線監測的原理是通過壓力和溫度傳感器以一定的精度測量氣體壓力和溫度，并通過SF6氣體狀態參數方程計算氣體密度。
(2) SF6氣體水分在線監測技術
當SF6氣體的含水量為20℃時，新設備和與滅弧室連通的空氣室按電氣設備開關試驗標準不大于150uL/L；根據本法規定的電力設備預防性試驗程序，SF6操作設備與滅弧室之間的空氣室不得大于300ul/L。最近的研究發現，SF6氣體含水量的增加與環境溫度的升高有一定的關系，但沒有具體的允許標準，因此測試結果往往不可比較，而且相差甚遠。
一些SF6高壓電氣設備制造商給出了SF6氣體含水量隨經驗溫度的變化曲線，使不同溫度下的檢測結果具有可比性，具有一定的工業應用價值。
濕度傳感器是整個數據采集系統的核心。與空氣相比，SF6氣體中的水分含量非常低，因此應使用混合傳感器進行測量，該傳感器可以是氧化鋁聚合物型傳感器或電容式濕度傳感器。這些傳感器中的濕敏材料吸收和釋放與周圍環境的相對濕度成比例的水分子，從而改變介電常數，并通過電路反映不同的水分含量。
在線監測SF6氣體密度可以在短時間內監測SF6氣體的絕緣性能，并分析SF6氣體的泄漏率。在線監測SF6氣體濕度可以及時發現SF6氣體中水分含量過高的問題。SF6監測儀對提高電力設備運行可靠性和電力系統供電可靠性具有積極作用。
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