如今，真空開關柜迅速普及。因為，真空斷路器在故障和正常操作次數較多的情況下操作更安全可靠。在中壓開關設備應用中，真空開關設備的電壓范圍為3至36kV。斷路器的性能主要取決于用于滅弧的介質。該技術的另一個主要優點是，真空開關設備幾乎免維護。
快速電弧淬火
在載流狀態下觸點斷開期間，觸點之間產生金屬蒸汽，該金屬蒸汽提供了電流持續流過的路徑，直到下一個電流為零。這種現象也被稱為真空電弧。這種電弧在電流零點附近熄滅，導電金屬蒸氣在幾微秒的時間內重新凝結在接觸表面上。已經觀察到，只有1%的蒸汽在電弧室的側壁上重新冷凝，99%的蒸汽在其蒸發的接觸表面上重新冷凝。
真空中的低電弧能量
真空電弧過程中耗散的能量約為油的十分之一和SF6氣體的四分之一。低能量耗散主要是由于低中斷時間(由于小接觸間隙)和小電弧長度(這也是由于小接觸隙)。由于這種低電弧能量耗散，真空開關設備的觸點腐蝕可以忽略不計，這使其幾乎無需維護。還需要注意的是，對于斷開特定電流，真空斷路器所需的能量與空氣斷路器和油斷路器相比是最小的。
真空介電強度
對于給定的接觸間隙，在一巴下，真空提供的介電強度比空氣高約八倍，比SF6氣體高四倍。由于介電強度很高，真空斷路器的接觸間隙可以保持很小。在這個小的接觸間隙中，由于高介電強度，電弧熄滅是安全可行的，并且真空在電弧中斷后具有快速恢復強度，在電流為零時達到其介電值。這使得真空開關設備電容器開關。
簡單的驅動機構
在SF6、油氣斷路器中，滅弧室的高壓縮介質對觸點的移動具有很強的抵抗力。但是，在真空開關設備中，沒有介質，而且由于觸點間隙小，觸點的移動較少，因此在該斷路器中所需的驅動能量要小得多。這就是為什么簡單的彈簧操作機構就足以滿足開關設備系統的要求，而不需要液壓和氣動機構。更簡單的驅動機構使真空開關設備的機械壽命更長。
從以上討論中，幾乎可以清楚地看出，真空開關設備的介電強度恢復得很快，接觸腐蝕幾乎可以忽略不計。
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