等離子體是種電離氣體。它的英文名字是plasma。它由Muir在1927年研究低壓汞蒸氣的排放現象時命名。等離子體由大量電子，中性原子，激發原子，光子和自由基組成。但是，電子和正離子的電荷數必須是中性的，這就是“等離子體”的含義。等離子體在傳導和受電磁影響的許多方面與固體，液體和氣體不同，因此被稱為物質的第四態。根據狀態，溫度和離子密度，等離子體可分為高溫等離子體和低溫等離子體。其中，高溫等離子體的電離度接近于1，各種粒子幾乎相同溫度的系統處于熱力學平衡狀態。它主要用于受控熱核反應的研究。但是，低溫等離子體是不平衡的，并且各種顆粒的溫度也不相同。電子溫度（TE）≥離子溫度（TI）可以達到104k以上，而離子和中性粒子的溫度可以低至300-500k。般的氣體發射器屬于低溫等離子體。

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在光催化模塊中，253.7nm波段的光用于切割、破碎、燃燒和裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，這是次處理；185nm波段的光用于催化廢氣分子的氧化，使被破壞的分子中子或原子與O3結合，使有機或無機大分子氣味化合物的分子鏈在催化氧化過程中可轉化為低分子化合物CO2、H2O等，是二次處理；

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光催化氧化技術是通過光激發氧化將O2、H2O2和光輻射等氧化劑結合起來。使用的光主要是紫外線，包括UV-H2O2、UV-o2等過程，可用于處理污水中的CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。此外，在紫外光作用下的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在協同作用，大大加快了H2O2分解生成羥基自由基的速度，促進了有機物的氧化去除。山東亞特環保科技有限公司應用于工業廢氣處理的紫外波長為154nm-254nm，波長越短，能量越大。在這個區域，由于154nm-185nm的波長相對較短，因此“殺戮”的空間范圍也較小。雖然185nm-254nm波長較長，但殺傷空間相對較大。