使用非接觸式激光位移傳感器,OSP370模塊可以非常快速精確地對(duì)非觸表面進(jìn)行測(cè)量。 在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。
非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370 Non-Contact Surface Profiling
空氣質(zhì)量檢測(cè)儀
光譜/色譜/分光光度計(jì)
使用非接觸式激光位移傳感器,OSP370模塊可以非常快速精確地對(duì)非觸表面進(jìn)行測(cè)量。 在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。
- 測(cè)量表面的粗糙度,形貌特征,使用獲得的數(shù)據(jù)來改變?cè)谄渌鸖KP, SVET, LEIS掃描技術(shù)中探針高度,使探針可以掃描不平的表面,同時(shí)保持探針和樣品表面間的距離*。
- 需和M370三維平臺(tái)及控制器結(jié)合使用
Measurement Range | 10mm |
Reference Distance | 30mm |
Maximum Vertical Resolution (static) | 100nm |
Spot Size | 30µm at focus |
Scan Speed | 2mm/sec |
Multiple Readings Averaged | Yes |
Correct Positioning | Red light/green light |
Scan Range (x, y, z) | 70mm |
Light Source | 650nm class 2 semiconductor laser max. 0.95mW |