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非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370 Non-Contact Surface Profiling

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2018-04-15 19:38:32瀏覽次數(shù):507次

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使用非接觸式激光位移傳感器,OSP370模塊可以非常快速精確地對(duì)非觸表面進(jìn)行測(cè)量。 在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

非觸式微區(qū)形貌測(cè)試系統(tǒng)OSP370 Non-Contact Surface Profiling

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使用非接觸式激光位移傳感器,OSP370模塊可以非常快速精確地對(duì)非觸表面進(jìn)行測(cè)量。  在不接觸樣品表面的情況下,它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。

  • 測(cè)量表面的粗糙度,形貌特征,使用獲得的數(shù)據(jù)來改變?cè)谄渌鸖KP, SVET, LEIS掃描技術(shù)中探針高度,使探針可以掃描不平的表面,同時(shí)保持探針和樣品表面間的距離*。
  • 需和M370三維平臺(tái)及控制器結(jié)合使用

Measurement Range

10mm

Reference Distance

30mm

Maximum Vertical Resolution (static)

100nm

Spot Size

30µm at focus

Scan Speed

2mm/sec

Multiple Readings Averaged

Yes

Correct Positioning

Red light/green light

Scan Range (x, y, z)

70mm

Light Source

650nm class 2 semiconductor laser max. 0.95mW

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