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CS200(A)數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號CS200(A)數(shù)字式

品       牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地北京市

更新時間:2022-08-02 13:45:54瀏覽次數(shù):1961次

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橡膠密封,通訊方式:模擬0-5V、模擬0-10V、數(shù)字485、DeviceNet

CS200(A)數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器(MASS FLOW CONTROLLER)

技術參數(shù):

型號      CS200(A)
  流量規(guī)格(N2

   ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM 

(0~1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

準確度  ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) ±0.35% F.S.(<35% F.S.)
線性           ±0.5% F.S.
 重復精度          ±0.2% F.S.
響應時間 ≤ 1sec
閥類型 Normally Closed or Normally Open
工作壓差范圍 (0.05~0.35) Mpa(≤10slm)
(0.1~0.35) Mpa(20slm,30 slm)
(0.2~0.45) Mpa(50 slm) <0.02MPa
溫度系數(shù)
Zero: ≤±0.05% F.S./℃;Span: ≤±0.1% F.S.℃
zui大工作壓力  3MPa
零漂 <0.6%F.S. per year without autozero
漏率 1×10-9 atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
密封材料 Viton;Neoprene
表面粗糙度 25Ra
工作環(huán)境溫度 (5~45)℃
輸入信號 Digital: RS485 DeviceNetTM
Analog:(0~5)VDC or (4~20)mA
輸出信號 Digital: RS485 DeviceNetTM Analog:(0~5)VDC and (4~20)mA
電源 ±11 ~ ±16 VDC or +11 ~ +28 VDC(400mA)
電氣連接 D sub 9 pins male,D sub 15 pins male
標準接頭形式 VCR1/4” M;SwagelokΦ3;SwagelokΦ6; SwagelokΦ10; Swagelok1/4”;W-seal;C-seal
重量 1kg

 

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