VOC廢氣處理設備是先將集氣系統收集的廢氣輸送到堿式吸收塔中，將廢氣由下而上輸入，堿液通過噴淋的方式由上而下噴淋廢氣，經過吸收塔處理后的氣體在經過一層水幕除塵后輸入燃燒塔中。此過程去除了廢氣中含有的部分酸性氣體和粉塵。廢氣仍然由下而上進入燃燒塔，在燃燒塔中燃燒后，除去了廢氣中含有的有機物，后再經過一層水幕除塵過程，再去除氣體中因燃燒產生的粉塵，燃燒后的二氧化碳和水就排入大氣中即可。 

VOC廢氣處理設備 

廢氣源集氣罩(搜集車間各個廢氣源的廢氣，接入主管道)噴淋吸收塔(吸收掉能溶于水的無機廢氣、粉塵以及顆粒物，降低廢氣溫度，為等離子提供優良的運行環境)一級低溫等離子處理設備(破壞廢氣分子結構，轉化為無污染物質)高壓風機(高壓的吸力作用下將風抽出車間)凈化吸收塔(進一步吸收粉塵以及顆粒物以及一些無機氣體，水洗小分子碎片，利于檢測達標)煙囪高空排放(也可低空排放)。

廢氣經阻火器過濾后，通過主進閥、旁通閥的同步反向切換調節進入熱交換器，熱交換器的熱氣升高一定溫度后進入預熱室、經過預熱室的加熱使廢氣升溫到催化起燃溫度（250度）然后進入催化反應床，在催化劑的活性作用下，有機廢氣進行氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量。反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，后以較低的溫度經引風機排入大氣。催化燃燒是借助催化劑在低溫下（200－400度）實現對有機物的*氧化，因此，操作簡單、安全、凈化效率高，在有機廢氣特別是回收價值大的有機廢氣凈化等領域應用廣泛。

不同的排放場合和不同的廢氣，有不同的催化燃燒廢氣處理工藝流程。