光離復合廢氣處理設備集合了等離子和光催化的優點，優勢互補，而且兩者之間能夠起到協同作用，克服雙方存在的缺點，相互促進，因而對空氣污染物具有優良的去除效果。

  研究表明光離復合技術具有廢氣凈化效率高、能耗低、適應性廣、光催化劑自動活化等優點，在去除有機廢氣中顯示非常好的效果，是一項非常值得研究和具有廣泛應用前景的技術。然而等離子體光催化協同凈化技術的研究剛剛起步，研究成果不多。

  揮發性有機物(VOCs)是一類比較難降解的氣體，尤其是苯系物，傳統的方法不但降解率較低而且極易產生二次污染。許多研究證明利用等離子體光催化技術處理后則能使之迅速降解，并且基本無二次污染，處理效率比單一的等離子體技術和光催化技術都有明顯的提高。

  光離復合廢氣處理設備能有效去除室內空氣中的氨、有機物;結果表明只有等離子體會產生大量的臭氧和一氧化碳，對人體非常有害，而當加入催化劑后臭氧出口濃度下降了10倍，CO出口濃度下降5倍。

  光離復合技術是一種非常好的去除空氣中污染物、增加空氣離子的方法。將氣體放電等離子填充床反應器與納米TiO2光催化劑相結合，以氣體在介質表面放電產生的紫外線為光催化材料的驅動力，將等離子與光催化兩種技術相結合來提高反應器的去除效率。