痕量低濃度氮氧化物分析儀DLAS技術本質上是一種光譜吸收技術，通過分析激光被氣體的選擇性吸收來獲得氣體的濃度。它與傳統紅外光譜吸收技術的不同之處在于，半導體激光光譜寬度遠小于氣體吸收譜線的展寬。因此，DLAS技術是一種高分辨率的光譜吸收技術，半導體激光穿過被測氣體的光強衰減可用朗伯-比爾（Lambert-Beer）定律表述式得出，關系式表明氣體濃度越高，對光的衰減也越大。因此，可通過測量氣體對激光的衰減來測量氣體的濃度。

痕量低濃度氮氧化物分析儀質譜分析法是利用不同離子在電場或者磁場中運動軌跡的不同，把離子按質荷比分離而得到質量圖譜，可以得到樣品的定性定量結果。質譜儀按照常用的質量分離器不同可分為掃描磁扇式磁場質譜儀和四極質譜儀，飛行時間質譜儀等幾種類型。目前工業應用上通常采用的是掃描磁扇式質譜儀。四極質譜儀的靈敏度高，適合實驗室或科學研究。掃描磁扇式的穩定性和重復性較高，適合工業應用。

多應用于存在化學反應的生產過程，例如氨氣合成流程中，在使用溫度儀表和壓力儀表控制反應環境以外，還需要使用氣體分析儀表來分析進氣的化學成分，控制氫氣和氨氣之間的合理比例，這樣才能大限度的提高氨氣合成率，而獲得較高的生產效率。在鍋爐燃燒控制中也起到了非常重要的作用。氣體分析儀多應用于鍋爐燃燒時的燃料供給控制，幫助操作人員調節燃料與助燃劑之間的比例成分。氣體分析儀在鍋爐燃燒中還起到了煙道化學成分分析的作用，據此操作人員可以恰當調整助燃空氣的供給量; 在工廠廢氣排放方面，特別是有毒有害氣體排放上，也起到了非常重要的作用。氣體分析儀的作用是對有毒有害氣體進行連續的監控，防止有毒有害氣體的濃度過高，威脅到工作人員的安全，或引起爆炸等惡性事故。

一臺氣體分析儀或一套氣體分析系統相當于一套完整的化工工藝設備，因此，氣體分析儀器系統工作過程就是在實現一系列的化工過程。若想通過氣體分析得到準確數據，就必須了解這一系列化工過程中各階段的情況及變化，認真研究并掌握其中的規律，只有這樣才能達到準確測定的目的。應當指出，不僅在一臺氣體分析儀器內部具備一套化工工藝過程的同樣情況和條件，而且，有時在儀器前級的樣氣預處理部分（含取樣系統）也同樣是一套化工工藝過程。