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SUSS MicroOptics微透鏡陣列18-00004

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產品型號18-00004

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更新時間:2024-05-11 10:21:13瀏覽次數:148次

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產品簡介

產品介紹SUSSMicroOptics通過使用反應離子刻蝕(RIE)將所需的結構轉移到基板上,從而在硅片和熔融二氧化硅中以晶圓級制造定制的單片微光學器件

詳細介紹

產品介紹

SUSS MicroOptics通過使用反應離子刻蝕(RIE)將所需的結構轉移到基板上,從而在硅片和熔融二氧化硅中以晶圓級制造定制的單片微光學器件。該技術可提供高分辨率和均勻性,并能夠合并復雜的形式,例如溝槽,空腔,基座,對準點和識別標記。組件可以鍍AR和/或金屬化,并以多種格式交付。

產品參數

沒有孔的MLA:熔融石英,透鏡,四邊形

網格

間距:130um

ROC:1.218mm±5%

無增透膜

形狀:矩形

厚度:0.9mm

尺寸:15mm x 15mm±0.05mm


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