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WOP激光微加工一體化研發(fā)平臺(tái)FemtoLAB

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹FemtoLAB是一款飛秒激光微加工工作站

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

FemtoLAB 是一款飛秒激光微加工工作站。需要為各種任務(wù)定制解決方案的科學(xué)實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)部的好選擇。FemtoLAB 激光工作站提供亞微米分辨率的組合激光微加工工藝，可執(zhí)行多種應(yīng)用。

性能特點(diǎn)

制造具有亞微米分辨率的復(fù)雜物體
高速高精度微加工
光束傳輸和功率控制效率高
工業(yè)級(jí)飛秒激光器
高性能檢流計(jì)掃描儀
物體運(yùn)動(dòng)與激光脈沖時(shí)空同步
的軟件界面控制所有硬件單元

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地：立陶宛
推薦材料：所有材料：玻璃、藍(lán)寶石、硅、陶瓷、金屬、塑料、光纖等。
激光：高功率超短脈沖紅外、綠光、紫外激光
樣本量：兼容 160 mm x 160 mm 的設(shè)計(jì)
最小特征尺寸：200納米
定位系統(tǒng)：XYZ 機(jī)械軸，定位精度 +- 0.3 μm，具有連續(xù)晶圓級(jí)圖案化
掃描系統(tǒng)：適用于所有激光波長(zhǎng)的振鏡系統(tǒng)
樣品處理：手動(dòng)與自動(dòng)對(duì)齊
尺寸（長(zhǎng) x 寬 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
重量：1100kg
電源：2x 220 VAC, 16 A

產(chǎn)品參數(shù)

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