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NIL Technology緊湊型納米壓印工具CNI v3.0

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產品型號CNI v3.0

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更新時間:2024-05-04 08:59:14瀏覽次數:92次

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產品簡介

產品介紹CNIv3.0是桌面壓印工具,易于復制微米級結構,可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓

詳細介紹

產品介紹

CNI v3.0是桌面壓印工具,易于復制微米級結構,可用的腔室可支持多到100毫米晶圓或200毫米晶圓。CNI是一種用于壓印和熱壓花的桌面尺寸工具。它允許微結構從母版復制到基底。CNI工具可以執行熱復制和紫外線復制。CNI工具是壓印的良好起點,但它也支持成熟和的開發工作。CNI工具操作簡單,功能強大,便于非標準流程和新實驗。

性能特點
  • 臺式壓印工具
  • UV NIL@365 nm(或405 nm–自定義選項)
  • 壓印壓力從0.3bar到11bar
  • 真空壓印(1mbar)
  • 堅固且易于使用
  • 手動裝載和卸載印章和基板
  • 自動過程控制
  • 易于操作的軟件界面
技術參數
  • 產地:丹麥
  • 壓力:壓印壓力為0.3-11bar過壓
  • 溫度:
  • 200ºC,可控制+/-1ºC
  • 250ºC,帶高溫選項
  • 紫外線照射:波長為365和/或405 nm的紫外光,在120 mm的腔室中光功率為12 W,在210 mm的腔室約為100 mW/cm2或57 W,約為165 mW/cm2。
  • 真空:壓印室可以抽空至約1mbar的壓力
  • 是否進口:是
  • 應用:廣泛
  • 封裝:廠家制定
  • 性能:良好
  • 可靠性:高
產品參數


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