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ELIONIX電子束光刻系統ELS-HAYATE

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產品型號ELS-HAYATE

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更新時間：2024-05-01 09:06:23瀏覽次數：82次

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天津瑞利光電科技有限公司

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產品簡介

產品介紹ELS-HAYATE能夠在數小時內制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具

詳細介紹

產品介紹

ELS-HAYATE能夠在數小時內制造出完整的8英寸晶圓尺寸的壓印模具。ELS-HAYATE非常適合需要高吞吐量和超細圖案分辨率的大型制造寫入場。

性能特點

可實現字段大小5mm的統一繪制
實現了業界的5毫米偏轉。因為可以統一繪制的區域變大，因此它非常適合在意字段間連接誤差的應用程序。此外，由于樣品表面內的載物臺移動次數也減少，高吞吐量的微細加工也能起到作用。
采用大電流電子光學系統
配備高電流電子光學系統，可以實現超出電子束光刻常識的高通量微制造。以前通過激光光刻或光刻產生的微米到毫米量級的圖案，現在可以高質量曝光。
400MHz生產用高速掃描時鐘
當在高電流下進行光刻時，須將光斑間距設置得較寬，以平衡小劑量時間和良好劑量。

技術參數