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萬級無塵車間，硅片車間，晶圓車間

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更新時間：2019-05-18 09:11:03瀏覽次數：806次

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產品簡介

產地	國產	凈化級別	萬級

萬級無塵車間，硅片無塵車間，晶圓無塵車間

詳細介紹

AMC來源于無塵車間內及室外空氣。無塵車間內的AMC主要來源于以下幾個方面：工藝牛產使用的各種化學品，工藝設備和原材料的氣體釋放，室內操作人員以及各種建筑材料等。室外空氣中的AMC多少與IC廠房所在地的空氣質量有關，且地方差異性較大，通常越是工廠集中的工業區來自室外的AMC就越嚴重。

3.2 AMC的控制

減少無塵車間內的AMC應從以下四個方面進行控制：

a)控制室內產生：工藝生產線本身是AMC大的產生源，因工藝生產中要使用各種化學品，這些化學品或多或少的要散發到室內空氣中形成AMC，所以首先應從生產工藝上考慮盡量減少化學品的使用，另外應控制工藝設備的制作材料、涂料的釋放氣體。無塵車間的各種建筑材料也是AMC的一大來源，建筑材料引起的AMC涉及面較廣，目前通常采取以下措施：盡量采用AMC釋放低的建筑裝修材料、涂料及密封材料，目前常用的建材中聚四氟乙烯、玻璃、不銹鋼、鋁合金、表面經烤漆處理的金屬材料、高彈性聚氨脂涂料、環氧瓷漆等是可以接受的，而環氧樹脂涂料、硅

密封膠、單/雙面密封膠帶、阻燃劑已不適用了；改進建筑材料加工工藝，提高加工精度，工程中盡量不用密封膠；潔凈系統中的HEPA/ULPA過濾器應采用聚四氟乙烯( PTFE)或低硼低有機物的玻璃纖維制作，另外目前常用的DOP測試方法以及鈉焰測試也是不能接受的，SEMATECH*采用以去離子水霧攜帶的固態聚苯乙烯(polystyrene latex，PSL)小球作為測試粒子；系統中的吸音材料盡量不用玻璃纖維，可以用發泡金屬等材料代替；上靜壓箱用無密封的烤漆板制作；制作風管的材料必須脫脂，密封墊用丁基橡膠：無塵車間空間內的電纜也應采用AMC釋放低的材料制作。

b)控制室外侵入：首先無塵車間空間等應密閉，使周圍環境的AMC不滲入無塵車間；其次應防止室外空氣中的AMC進入無塵車間內，為此有兩個方面需要考慮，*是新風人口應合理，盡量遠離排風口及其他污染源，另外建廠地點應合理。第二是IC廠所在地的室外空氣中如含有對生產工藝敏感的AMC，則在室外空氣送入無塵車間前應進行可靠的處理，根據室外空氣中AMC的種類、濃度以及工藝要求在新風處理機組中設置相應的化學過濾器，也可以在新風處理機組中設淋洗裝置加以去除。

c)控制擴散：對于生產中必須要使用化學品的工藝設備應盡量采取密閉措施，并設置可靠的排風，以減少化學品的散發。另外合理的氣流組織對防止擴散也很重要，潔凈系統設計時應充分考慮減少各區域的氣流交叉。

d)化學過濾：采取了以上措施雖然可以降低無塵車間內的AMC濃度，但不可能*杜絕AMC的產生，而有些生產工序對AMC又比較敏感，雖然潔凈系統中裝有HEPA/ULPA過濾器，該過濾器對于過濾灰塵粒子有效果，但對于AMC幾乎不起作用，所以有些生產區域還應設置化學過濾器，以去除無塵車間內的AMC。通常做法是在FFU的HFPA/ULPA過濾器與風機之間增設化學過濾器，針對區域一般是勻膠、顯影區以及CVD區。