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CCCL01微納尺寸測量儀
將顯微成像與傳統影像測量相結合，實現了微小特征的大范圍測量。配置電動變倍鏡頭，可自動切換到不同的倍率，探測各種精密微觀二維尺寸特征。測量儀功能豐富，擁有自動調色增強圖像效果功能，滿足大范圍測量拼圖功能，實現自動抓取擬合測量功能，可進行各種二維尺寸點、線、圓等的測量和形位公差的評價，可進行各種段差、角度、平面度測量。
CCCL01微納尺寸測量儀可用于印制電路板微切片、精密機械零件、晶圓刻蝕微結構、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機精密配件、醫療器械、鐘表、刀具、計量檢測等領域。
型號 | CCCL01 | |||
物鏡 | 10X | 20X | 50X | |
圖像傳感器 | 高清工業像機 | |||
顯示器 | 24英寸 LCD顯示器（XGA：1920×1080） | |||
單視場范圍 | 0.35×0.42mm | 0.17×0.21mm | 0.07×0.08mm | |
橫向分辨率*1 | 0.2μm | 0.1μm | 0.05μm | |
測量精度*2 | 單視場 | ±0.03μm | ±0.02μm | ±0.01μm |
運動軸Ex/Ey | ±（2.0+0.01L）μm | |||
單視場重復精度*3 | ±0.1μm | ±0.1μm | ±0.05μm | |
高度測量*4 | 測量精度 | ±（2.0+0.01L）μm | ||
重復精度 | ±1μm | |||
行程范圍 | X和Y軸 | 100*100mm | ||
載物有效尺寸 | 90*90mm | |||
Z軸 | 80mm | |||
光柵顯示分辨率 | 0.1μm | |||
照明系統 | 透射照明 | 同軸點光（白光） | ||
反射照明 | 環形光（白光） | |||
輪廓光 | 透過照明（綠光） | |||
點激光測量精度*4 | 最大孔深比 | 1.5 | ||
高度范圍 | ±3.5mm | |||
精度 | ±2.0μm | |||
測量軟件 | VisionPower | |||
最大測量速度 | XY | 30 mm/s | ||
Z | 75 mm/s | |||
外形尺寸(L×W×H) | 600×440×750mm | |||
重量 | 65kg | |||
承重 | 5kg | |||
工作電源 | 100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 400W | |||
工作環境 | 溫度10℃~35℃，濕度20~80%（無凝結） | |||
注：
*1在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量標準線對分辨率板。
*2在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量微納米標準板。
*3在調焦位置，使用環境溫度為+20℃±1.0℃時，測量微納米標準板。
*4為Z軸機械精度，采用鏡頭聚焦測高的精度依賴于工件表面。
*5需選配光學高度測量傳感測頭。
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