工業超純水設備預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）

此設備采用全自動CEDI電去離子超純水處理技術，前置預處理配套使用加反滲透處理，有效去除水中各種鹽份及雜質，然后運用CEDI系統，進一步提升水質，使出水達到用水工藝要求；具有產水水質穩定、操作簡便、運行費用低、綠色環保、維護方便等優點，廣泛應用于電子、醫藥、電力等相關行業。

工業超純水設備是應用在反滲透系統之后，取代離子交換樹脂，無需酸堿再生，具有水質穩定、運行費用低、操作管理方便、占地面積小等特點。

超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做：超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。

特點

1. 透水量大，脫鹽率高。正常情況下≥98%

2. 對有機物，膠體、微粒、細菌、病毒、熱源等有很高的截留去除作用。

3. 能耗小，水利用率高，運行費用低于其它脫鹽設備。

預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)以上工藝各有各的優勢，你可以根據你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發展，很多新的工藝已經替代了舊的工藝，反滲透法制取高純水已經普及，也是為現今的工藝。