超純水設備處理高純水：既將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物、氣體及有機物均去除至很低程度的水。電阻率大于10～18.3MΩ*cm極限值。超純水,是一般純水設備很難達到的程度，通常采用預處理、反滲透技術、高純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換（拋光）、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達18.25MΩ*cm。

制備工業用高純水的工藝流程

電子行業制備超水的工藝大致分成以下幾種：

1. 采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

2. 采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點

3. 采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→軟水器-精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→拋光混床-紫外線殺菌器-終端精密過濾器→用水點
    

   超純水設備工程實例

   3t/h電子行業用高純水系統

   原水管道－原水加壓泵－多介質過濾器－活性炭過濾器－軟水器－精密過濾器－反滲透機－中間水箱-EDI裝置－中間水箱-拋光樹脂-紫外線殺菌器-終端精密過濾器－用水點-回中間水箱