3TEDI超純水系統采用的是主要是反滲透膜技術。它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態的礦物質元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使滲透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。近幾十年以來，混合床離子交換技術一直作為超純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學藥品（酸堿）和純水，并造成一定的環境問題，因此需要開發無酸堿超純水系統。

超純水設備制備工藝

1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝)

2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）

3、預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）

3TEDI超純水系統

①水質穩定；②容易實現全自動控制；③不會因再生而停機；④不需化學再生；⑤運行費用低；⑥占地面積小；⑦無污水排放。

EDI裝置是應用在反滲透系統之后，取代離子交換樹脂，無需酸堿再生，具有水質穩定、運行費用低、操作管理方便、占地面積小等特點。

超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做：超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統，實驗室超純水器等。 超純水機所生產的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。