目前由于離子交換操作麻煩，且環境污染嚴重，所以超純水設備的制造工藝通常有兩種，一種是反滲透加混床離子交換設備，一種是反滲透加EDI。

該設備主要采用的是反滲透裝置加混床系統，主體設備均采用不銹鋼材質，反滲透出水電導率10us/cm以下，再經過混合離子交換器的過濾，出水可達15兆歐以上。

由于反滲透出水水質優良，大大延長了混床的再生周期，提升了超純水水質品質，大型超純水系統須考慮到混床再生時的生產用水情況，且連續產水的情況，所以一般會采用一備一用，當其中一個混床再生或另一個混床自動工作。

1、采用離子交換樹脂制備工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水箱→增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→陽離子交換床→陰離子交換床→混床(混合離子交換器)→超純水箱→用水點

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水箱→原水增壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混合離子交換床→超純水箱→用水點

3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備工業超純水的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，

其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟化過濾器→精密過濾器→一級高壓泵→一級反滲透設備→PH調節裝置→中間水箱→二級高壓泵→二級RO反滲透裝置→純水箱→EDI增壓水泵→電去離子水裝置(EDI)→超純水箱→超純水泵→0.22U微孔過濾器→用水點

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