詳細介紹
一、工業超純水制取裝置概述:
采用反滲透水處理設備與混床離子交換設備進行組合的方式制取工業用超純水工藝的原理是:以反滲透出水做為二級原水,加壓進入混床離子交換柱,制取滿足工業生產所需的高純水,終出水水質電阻率≥15MΩ.cm。此工藝常用的工藝流程為:原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→緩沖水箱→反滲透設備→純水箱→增壓泵→混床(復床)→超純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。采用此工藝流程超純水系統可適用各種原水水源。
反滲透+混床超純水設備系統是現代電子工業,如:半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業制備純水、超純水常用、實用的系統工藝。
二、工業超純水制取裝置特點:
在現代電子工業高速發展的今天,工業生產對用水的要求也非常高。如半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路等行業就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級水質技術分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質。
三、單級反滲透設備+混床超純水處理系統的應用領域
1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產品;
6、其他高科技精微產品。
而采用單級反滲透+混床離子交換系統工藝是現代電子行業工業生產用純水、超純水常用的生產工藝。