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北京華林嘉業科技有限公司
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機臺用途: 機臺用來完成對外延石英鐘罩的清洗;工件進行內部腐蝕清洗并干燥，外部進行水洗。適用鐘罩型號：3061；630/680
※ 機臺名稱：外延鐘罩清洗機。
※ 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。
※ 機臺數量：一臺。
※ 機臺重量：1000Kg(預估值)。
※ 清洗能力：客戶提供圖紙及詳細參數，1 Pcs/cassette。
※ 清洗方式: 濕法噴淋+噴(烘)干。
※ 機臺封面：使用德國ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 主要結構材質：使用德國ROCHLING品牌之聚丙烯磁白PP板材(厚度10mm) 。
※ 機臺視窗：使用德國ROCHLING品牌透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC(厚度5mm) 。
※ 機臺主機強度結構：整體40*40碳鋼金屬結構骨架。
※ 防漏盤：配有分體式聚丙烯磁白PP板材防漏盤。
※ 排風系統：排風強勁合理設計，為了排風效果達到，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員根據情況及時調節排風量，操作人員可小范圍調節機臺排風背板上的可拆卸式排風柵欄再配合機臺視窗上的可調進氣模塊使用達到使用效果。
※ 機臺操作面板設有EMO急停按鈕；排放口配有可拆卸過濾網裝置，防止碎硅渣進入下水管道系統；具有漏電斷路保護裝置，電氣箱內部通入壓縮空氣作為正壓保護。
※ 安全互鎖裝置: 裝有工件感應器，只有感應到工件后才允許開始清洗工藝。
※ 腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩定性。
※ 可根據需要定時定量補充槽體藥液。
※ 工藝參數（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調）手動由觸摸屏界面可設定。
※ 全程自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產品性能的一致性；
※ 清洗流程：首先人工手動將石英鐘罩放入清洗立式活動腔體定位區域內，通過人工目測確認后手動將石英鐘罩位置檢測探頭定位鎖緊（與安全監測裝置互鎖）;檢查水、電、氣正常，活動門（雙層）封閉，然后啟動按鈕→進入一次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進入稀酸洗程序→自動噴稀混酸（石英鐘罩內壁）→自動卸酸排放至廢酸管路→進入二次DIW清洗程序→一般廢水主排放管路→進入濃酸洗程序→自動噴濃混酸（石英鐘罩內壁）→自動卸酸排放至稀酸儲液箱→進入三次DIW清洗程序→石英鐘罩內壁DIW噴淋清洗（同時排水閥打開）→報警→HOT氮氣內外壁吹干→合格報警→人工將石英鐘罩取出清洗機，完成整個清洗工作。
※ 特點&優點
*視窗為雙層設計，操作安全 *設備占地面積小（4.9㎡）
*噴淋裝置噴淋均勻 *N2加熱材料高純無污染，in-line加熱
*封壓裝置動作平穩，密封性強，耐腐蝕，多重檢測 *溫度自動校準
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全 *清洗能力是傳統設備的2倍
※ 廠務需求規范數據
1 | 電源 | AC380VA±10（五線制）50Hz±1% 10KW（預估值）控制回路DC24V（符合大陸規定） |
2 | DI水壓力 | 0.35～0.45Mpa 管徑：DN40*1 PVDF材質管路； |
3 | CDA氣源壓力 | 0.45～0.7Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路； |
4 | N2氣源壓力 | 0.3～0.45Mpa 管徑: Rc3/8—3/4*1 插管式接頭+PFA管路； |
5 | 溫度 | 23±1℃； |
6 | 濕度 | 53±5%； |
7 | 一般排水口 | DN50*2 PVDF材質管路； |
8 | 廢液排放口徑 | DN50*2 PVDF材質管路； |
9 | 排氣 | ￠200mm*2 500-800m3/h*2（預估值可以根據廠務要求調整）； |
10 | 設備后房維修空間尺寸 | 500mm—800mm； |
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