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UV光氧催化氧化凈化設備中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。

UV光氧催化氧化凈化設備中對有機揮發性廢氣首要進行光解與催化氧化。光解首要是通過高能UV紫外線對空氣中的氧氣發作分化作用，推進氧分子分化變成游離態的氧，因為游離態氧上的正負電子處于不平衡狀態，因而游離態氧極易與氧分子生成臭氧，而臭氧的強氧化作用可以推進有機揮發性廢氣的分化。在UV高效設備內安裝著紫外線放電管，紫外線放電管發作的光子能量可以高達647KJ/mol、742KJ/mol，如此高的光子能可以迅速裂解小于該能量的有機揮發性廢氣的分子鍵，使其轉變為無機小分子物質。在UV光氧催化氧化廢氣設備中增加納米級其他活性資料，將活性資料給予紫外線照耀，活性資料可以吸收大量的光能，于外表發作鼓勵進而生成h+（空穴）與e-（電子），而空穴與電子所具有的氧化復原才能，可與氧、水發作反響，迅速生成具有*氧化才能的•OH（氫氧根自由基）與•O2-（超級陰氧離子）。•OH氧化電位適當高，可以氧化有機揮發性廢氣中的電子，推進無光吸收才能物質的氧化分化。研討發現，在紫外光的能量以及納米活性催化氧化作用下，有機揮發性廢氣在短短2-3秒的時刻內就可以被充分分化。