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等離子體是一種聚集態物質，它有別于常識的“固"、“液"、“氣"三態物質，是物質的第四態，其所擁有的高能電子同空氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡;另外，再借助等離子體中的離子與物體的凝并(等離子體使通過空氣中的油煙顆粒帶上不同(正、負)的電荷，從而自相吸引，聚集成大團而沉降)作用，可以對小至亞微米級的細微顆粒物進行有效的收集。
UV光氧等離子一體機凈化VOCs原理：利用“高頻高壓脈沖電暈法"技術，在線筒式“等離子發生反應器"內進行電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體;即：當廢氣經過等離子發生器時，在高壓脈沖電場中，通過前后沿陡峭、脈寬極窄(ns)的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高能低溫等離子體，即產生大量高能電子和具有*氧化性能的羥基自由基(˙OH、˙HO2、˙O )、以及氧化性*O3 等高能活性粒子，與廢氣中有機物分子進行非彈性碰撞，使有機物分子化學鍵斷裂，發生一系列復雜氧化、降解化學反應，終使廢氣中有毒有害有機物轉變為無害的二氧化碳和水等，使廢氣得到凈化。
UV光氧等離子一體機兩者根本的區別：
1.凈化現象不*：靜電凈化是一種物理現象，它不改變空氣的固有特征，而只是使空氣中的灰塵顆粒變少;等離子凈化涉及到物理化學現象，會生成一些新的物質，利用第四物質體態，產生大量高能電子和具有*氧化性能的羥基自由基，發生系列物理化學反應。
2.電壓供給不*：靜電電壓是恒穩的電壓作用，而等離子電壓形式多樣 直流和交流的都可，放電電壓要達到起暈電壓才發生。
3.除塵原理不*：靜電凈化是使灰塵帶電，通過電極作用吸附除塵，等離子使灰塵(如油煙顆粒)帶上不同(正、負)的電荷，從而自相吸引，聚集成大團而沉降，這樣空氣也得到了凈化。。兩者經常互相補充使用。
4.凈化效率不*：靜電凈化一般只能除去空氣中灰塵之類，處理效率低;等離子體可以處理各類廢氣(油煙、殺菌、VOCs之類)，已經廣泛用于VOCs治理。
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