單晶提拉爐是科研院所、企事業(yè)單位新晶體材料的提拉法、下降法、泡生法、溫梯法生長(zhǎng)性能研究和生產(chǎn)的優(yōu)良可靠設(shè)備。
結(jié)構(gòu)及性能說(shuō)明:
BN-DTL800型單晶提拉爐主要部分組成:
1、爐體:真空爐室尺寸φ400*700mm,雙層通水爐壁用304不銹鋼,爐門為側(cè)開(kāi)門,爐門上設(shè)有通水石英觀察窗。
2、真空系統(tǒng):
2.1為適應(yīng)用戶的工藝要求,配備擴(kuò)散泵機(jī)組。
2.2真空閥為真空碟閥;在機(jī)械泵抽氣口安裝有電磁真空壓差放氣閥。
3、真空計(jì):真空計(jì)是用來(lái)測(cè)量真空度的裝置。設(shè)備中設(shè)置了壓力真空表(安裝在與爐體的真空管道上)與熱偶真空計(jì)兩種;真空硅管安裝在爐體排氣口與真空碟閥連接的管道上,用來(lái)測(cè)量真空度。
4、提拉機(jī)構(gòu):采用滾珠絲杠加導(dǎo)軌拖動(dòng)移動(dòng)平臺(tái)直線運(yùn)動(dòng)。 稱重控制采用應(yīng)變式傳感器。提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度在觸摸屏上設(shè)置,具有故障報(bào)警、報(bào)警記錄、數(shù)據(jù)記錄,斷電自動(dòng)處理,超壓報(bào)警等,數(shù)據(jù)記錄可以通過(guò)U盤(pán)拷出放入計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。
5、加熱系統(tǒng):隔熱屏采用石墨及碳?xì)植牧现谱?,結(jié)構(gòu)型式為圓形隔熱屏,加熱器也采用石墨圓型結(jié)構(gòu)型式,安裝在圓形隔熱屏的圓周上,使其形成一個(gè)整體;加熱器采用銅電極連接石墨發(fā)熱體,易于拆卸和維修。
6、電控系統(tǒng):昆侖通泰10寸液晶觸摸屏顯示,以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出,可通過(guò)U盤(pán)復(fù)制到計(jì)算機(jī)上,曲線實(shí)時(shí)顯示屏;讓程序設(shè)置更快捷,設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)更直觀,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;針對(duì)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)、輸出,可通過(guò)USB接口復(fù)制數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)上長(zhǎng)期保存,可以預(yù)設(shè)多條加熱曲線??販鼐?plusmn;1℃。專家模塊和控制算法相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)精密控溫,有效抑制溫度過(guò)沖。超溫報(bào)警系統(tǒng)具有切斷主回路、聲光報(bào)警和自動(dòng)恢復(fù)解除功能。
主要技術(shù)參數(shù):
1、熔料量:2Kg(以金屬銦7.3g/cm3計(jì))
2、工作溫度:500℃;
3、加熱溫度:800℃;分
4、坩堝材質(zhì):超高純石墨;
5、加熱方式:石墨加熱;
6、電極中心距/數(shù)量:300mm(一對(duì));
7、功率:30KW
8、冷爐的極限真空度:≤6.67*10-2pa;
9、冷爐泄漏率:≤10Pa/h;
10、爐膛設(shè)計(jì)壓力:≤0.03MPa;
11、籽晶拉速范圍:2~80mm/h;
12、籽晶桿快升/快降:≥100mm/min;
13、籽晶桿轉(zhuǎn)速范圍:1~50rpm;
14、坩堝行程:150mm;
15、坩堝轉(zhuǎn)速范圍:5~15rpm;
16、下降桿快升/快降:50mm/min;
17、水冷系統(tǒng):室外閉式循環(huán)冷卻系統(tǒng),流量5m3/h。
18、控溫精度:±1℃
質(zhì)量?jī)?yōu)勢(shì):
一、爐殼、爐膛
1、雙層優(yōu)質(zhì)碳鋼板、表面防銹耐高溫烤漆處理;
2、氧化鋁多晶纖維高溫爐膛,美觀節(jié)能。
二、電器、控溫
1、電子元件全部德力西品牌、可控硅是日本或德國(guó)原裝;
2、以確保安全、高效使用,采用進(jìn)口全銅隔離式變壓器;
3、溫度控制和檢測(cè)全部采用
單鉑銠(S型)≤1500℃;
雙鉑銠(B型)≤1800℃;