型號 | PSD2 | PSD4-STD(標準) | PSD4-HFV(高流量) | PSD4-HPO(高壓輸出) |
性能 |
| 出氣量 |
流量 | 7 Nl/min (14.8 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) | 90 Nl/min (109.7 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) |
壓力 | 0.5 barg (7 psig) | 用戶高可設置為8 barg(116 psig) |
濕度 | <1ppmv | <13.8ppbv |
供氣要求 |
| 供氣 |
流量 | 10 Nl/min (21.2 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) | 90 Nl/min (109.7 scfh) | 30 Nl/min (63.6 scfh) |
壓力 | 5 ~ 7 barg (70 ~ 100 psig) | 6 ~ 10 barg (87 ~ 145 psig) |
濕度 | 不含油和液態水 | <16ppmv |
電氣參數 |
電源 | 100 ~ 115 或 220 ~ 240 VAC, 50/60Hz | 100 ~ 240VAC 50/60Hz |
電源連接 | IEC 插座 |
環境條件 |
工作溫度 | +5 ~ +35°C (+41 ~ +95°F) | +10 ~ +40°C (+50 ~ +104°F) |
儲存溫度 | -40 ~ +35°C (-40 ~ +95°F) | -40 ~ +50°C (-40 ~ +122°F) |
機械參數 |
類型 | 兩個干燥柱,變壓切換 |
干燥劑 | 4 A分子篩干燥劑(4-8目) |
所需的量(近似值) | 2 Kg | 3.5 Kg |
計時器 | 機械凸輪 | 可編程繼電器 |
| 氣體連接 |
入口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® |
出口 | Swagelog ® ¼" | ¼" VCR Swagelok® | ½" VCR Swagelok® | ¼" VCR Swagelok® |
| 過濾器 |
出口 | 無 | Millipore Wafergard IIF Micro Inline(密封型)PTFE圓片過濾膜,對0.003pm顆粒的過濾效果>99.999% |
排氣口 | 無 | 粘結玻璃微纖維,對0.1μm顆粒的過濾效果>99.999% |
結構 | 機架安裝:19” x 6U x 324mm (12.8”) | 304不銹鋼壁掛式外殼:800x600x300mm (31.5x24x12”) |
重量 | 12.5kg (27.5lbs) | 30Kg (66lb) | 35Kg (77lb) | 32Kg (70lb) |