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赫爾納貿易(大連)有限公司

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DWL 2000 GS系列德國Heidelberg 刻蝕機 機器視覺
德國Heidelberg 刻蝕機 機器視覺
參考價 100000
訂貨量 1
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 DWL 2000 GS系列
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 大連市

更新時間:2023-07-23 22:05:50瀏覽次數:3251

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【簡單介紹】
加工定制 應用領域 蝕刻
質保 3年 重量 500kg
自動化程度 組成部分 多部分
德國Heidelberg 刻蝕機DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 激光光刻系統是快速靈活的高分辨率圖案生成器。它們針對工業級灰度光刻進行了優化,專為集成電路、MEMS、微光學和微流體設備、傳感器、全息圖以及**特征的掩模和晶圓的高通量圖案化而設計。

標題:供應德國Heidelberg Instruments刻蝕機 DWL 2000 GS系列

 

德國Heidelberg Instruments刻蝕機公司介紹:

德國Heidelberg 刻蝕機海德堡儀器是設計、開發和制造高精度激光光刻系統、無掩模對準器和納米加工工具的世界領導*。憑借超過 35 年的經驗和在*球安裝的 1,300 多套系統, 海德堡儀器 提供專門定制的光刻解決方案,以滿足我們**客戶的微加工和納米加工要求 - 無論多么具有挑戰性。在我們位于德國、瑞士和中國的過程和應用實驗室 (PAL) 中,工程師們對我們的客戶進行培訓并與他們密切合作,以充分利用他們的海德堡儀器設備。 行業利益相關者,以及世界各地最的大學和研究機構的工作組,都使用海德堡儀器的系統進行的微米和納米圖案化。應用領域包括微光學和微系統技術、光子學、電子學、半導體/封裝、量子計算、MEMS/NEMS、微機械學、生物醫學工程、二維材料、物聯網等等。 

 

Heidelberg Instruments刻蝕機介紹:

德國Heidelberg 刻蝕機DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 激光光刻系統是快速靈活的高分辨率圖案生成器。它們針對工業級灰度光刻進行了優化,專為集成電路、MEMS、微光學和微流體設備、傳感器、全息圖以及**特征的掩模和晶圓的高通量圖案化而設計。專業灰度光刻模式可以在大面積厚光刻膠中形成復雜的 2.5D 結構圖案。DWL 2000 GS / DWL 4000 GS 系統具有 500 nm 的最小特征尺寸、高達 400 x 400 mm 2的寫入區域和可選的自動加載系統,特別適用于用于電信、照明的晶圓級微光學器件和工業顯示器制造,以及生命科學中的設備制造。

Heidelberg Instruments刻蝕機功能參數特點:

2  曝光質量

2  CD 均勻性 60 nm;邊緣粗糙度 40 納米;對準精度 60 nm;第二層對準 250 nm;自動對焦補償 80 µm

2  灰度光刻

2  1000級灰度;專用 GenISys BEAMER 軟件,用于優化復雜幾何形狀的曝光

2  溫控流動箱

2  溫度穩定性 ± 0.1°ISO 4 環境

2  *速度

2  灰度模式下 200 x 200 mm 2 的面積<60 分鐘

2  基板尺寸大

2  高達 20 / 40 厘米

 

Heidelberg Instruments刻蝕機應用:

2  微光學

2  材料科學

2  微流體等

 

Heidelberg Instruments刻蝕機主要型號:

2  DWL 2000 GS 系列

2  DWL 4000 GS 系列

 




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