一、產品簡介：

      硅烷也稱矽烷，是化學分子式為SiH₄的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶于水。在室溫下硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中無需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。

      我公司生產的ZCRS型不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔是處理硅烷、氨氣及其他可溶性氣體的廢氣凈化設備，主要用于處理太陽能電池生產線行業以及PECVD化學氣相沉淀工藝所產生的廢氣。

二、產品結構：

             新型不銹鋼硅烷燃燒塔設備由：不銹鋼殼體、燃燒系統、洗滌系統和清渣系統組成。

三、工作原理：

     新型不銹鋼硅烷燃燒塔采用優質不銹鋼板進行制造，燃燒塔采用燃燒洗滌法凈化硅烷氣體，它分別有一級燃燒塔和二級燃燒洗滌塔組成。根據硅烷(矽烷)在空氣中自燃的特性，特在燃燒塔中設置密閉燃燒室，為保證硅烷在燃燒室內充分燃燒，必須保證燃燒塔內負壓，控制在-100Pa左右。

      根據硅烷與空氣接觸而自然的特點，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經過噴淋處理，使廢氣與中和循環液接觸反應，然后進入脫液器處理后由抽風機排入大氣

     在進氣方便采用壓縮空氣加新風進氣口雙進風形式，提高產品運行效率和可靠性。在噴淋系統方面，采用循環水泵與自動補水相結合的方法，風機采用一用一備形式，這些工藝特點使得此在安全可靠性方面得到*保證。內部燃燒室采用特殊的泄壓裝置，即使在內部壓力突然增大的情況下仍能正常工作，同時配備了氮氣入口，更加大了設備的安全性。在粉塵收集方面采用靜壓沉積的方法，沉積下來的粉塵通過排渣口排出，這使粉塵收集處理變得更容易、更有效。

四、適用范圍：

   主要用于單晶硅、多晶硅行業生產中產生的硅烷尾氣凈化。該設備的成功應用，主要是我公司技術人員對國外半導體行業凈化硅烷尾氣技術方面的消化吸收，來滿足國內太陽能、光能行業，半導體行業及CVD化學氣體沉積工藝中產生的硅烷氣體凈化。