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臭氧發生器基本上是從給水處理領域開始，在一百多年的應用過程中，形成了具有綜合技術集成的設備及應用系統。2000年前，我國大單機臭氧產量2kg/h的工頻臭氧發生器；2000年后我國大型臭氧設備制造技術快速發展，逐步提升到水平。近10年，我國大型臭氧設備制造技術飛速發展，臭氧發生器已被廣泛應用于飲用水處理、污水處理、化工氧化、煙氣脫硝、食品加工與消毒等領域。
設備系統流程：
氧氣經過過濾器凈化，減壓閥（閥后壓力0.098MPa）減壓穩壓，氧氣流量計檢測流量，溫度壓力傳感器檢測溫度壓力后，進入臭氧發生室。每臺發生器進氣管道上安裝有壓力傳感器，當進氣壓力過高時進行報警；進氣管道配置安全閥，當臭氧發生器壓力超高時，自動泄壓，臭氧發生器安全生產。
臭氧發生室內的高頻高壓電場內，部分氧氣變成臭氧，產品氣體為臭氧化氣體，通過出氣自動調節閥后排出。每臺臭氧發生器出氣管道上裝有取樣閥，連接配套氣態臭氧濃度儀，實時檢測臭氧出氣濃度。
每臺臭氧發生器設置內循環冷卻水系統，為臭氧發生器提供冷卻水進行換熱冷卻。每套冷卻水系統含板式換熱器、冷卻循環水泵及相應的閥門儀表等。
臭氧發生器的冷卻水出水管路設有水流量開關檢測水流量異常并反饋到自動控制系統；出水管路設置溫度傳感器，用于檢測冷卻水溫度并反饋到自動控制系統；當冷卻水溫度超過設定值或者流量低于設定值時報警。
氧氣經過過濾器凈化，減壓閥（閥后壓力0.098MPa）減壓穩壓，氧氣流量計檢測流量，溫度壓力傳感器檢測溫度壓力后，進入臭氧發生室。每臺發生器進氣管道上安裝有壓力傳感器，當進氣壓力過高時進行報警；進氣管道配置安全閥，當臭氧發生器壓力超高時，自動泄壓，臭氧發生器安全生產。
臭氧發生室內的高頻高壓電場內，部分氧氣變成臭氧，產品氣體為臭氧化氣體，通過出氣自動調節閥后排出。每臺臭氧發生器出氣管道上裝有取樣閥，連接配套氣態臭氧濃度儀，實時檢測臭氧出氣濃度。
每臺臭氧發生器設置內循環冷卻水系統，為臭氧發生器提供冷卻水進行換熱冷卻。每套冷卻水系統含板式換熱器、冷卻循環水泵及相應的閥門儀表等。
臭氧發生器的冷卻水出水管路設有水流量開關檢測水流量異常并反饋到自動控制系統；出水管路設置溫度傳感器，用于檢測冷卻水溫度并反饋到自動控制系統；當冷卻水溫度超過設定值或者流量低于設定值時報警。
當臭氧系統停機時，臭氧進氣端的進氣開關閥和臭氧出氣端的自動調節閥將關閉，同時在進氣端與出氣端分別配有手動球閥，防止自動閥門失效不能關閉及調節。臭氧制備間內安裝臭氧/氧氣泄漏報警儀。當臭氧制備間內環境中臭氧/氧氣泄露超標時，由臭氧/氧氣泄露報警儀檢測發出報警、啟動排氣風扇（排風扇由用戶自備），在報警后1-10分鐘內（用戶設定）故障尚未排除將自動切斷本房間相關設備電源。臭氧接觸池設置尾氣破壞器，池子內的尾氣經除霧器去除水霧與水滴后，進入尾氣破壞器反應罐。尾氣破壞器采用加熱催化的方式將臭氧分解，整個尾氣破壞裝置的控制由尾氣破壞箱控制。經臭氧尾氣破壞裝置的出口氣體臭氧濃度小于0.1ppm，可直接排放到大氣中。
河北臭氧發生器-水廠氧化消毒系統
案例介紹：
項目：河北省滄州市東光縣第二水廠
設備：4000g臭氧發生器2套
