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廢水深度處理，能夠進步去除二級處理未能去除的污染物，如磷、氮和生物難以降解的有機污染物、無機污染物、病原體等，實現二級處理無法實現的脫色、除臭目標，達到改善水質和有關排放標準要求，還可以實現廢水的回收和再利用。 廢水深度處理技術般包括臭氧氧化、活性炭吸附、膜分離等技術。其中臭氧可以通過臭氧發生器進行制取。
臭氧發生室內的高頻高壓電場內，部分氧氣變成臭氧，產品氣體為臭氧化氣體，通過出氣自動調節閥后排出。每臺臭氧發生器出氣管道上裝有取樣閥，連接配套氣態臭氧濃度儀，實時檢測臭氧出氣濃度。每臺臭氧發生器設置內循環冷卻水系統，為臭氧發生器提供冷卻水進行換熱冷卻。每套冷卻水系統含板式換熱器、冷卻循環水泵及相應的閥門儀表等。
臭氧發生器的冷卻水出水管路設有水流量開關檢測水流量異常并反饋到自動控制系統；出水管路設置溫度傳感器，用于檢測冷卻水溫度并反饋到自動控制系統；當冷卻水溫度超過設定值或者流量低于設定值時報警。
當臭氧系統停機時，臭氧進氣端的進氣開關閥和臭氧出氣端的自動調節閥將關閉，同時在進氣端與出氣端分別配有手動球閥，防止自動閥門失效不能關閉及調節。臭氧制備間內安裝臭氧/氧氣泄漏報警儀。當臭氧制備間內環境中臭氧/氧氣泄露超標時，由臭氧/氧氣泄露報警儀檢測發出報警、啟動排氣風扇（排風扇由用戶自備），在報警后1-10分鐘內（用戶設定）故障尚未排除將自動切斷本房間相關設備電源。
臭氧接觸池設置尾氣破壞器，池子內的尾氣經除霧器去除水霧與水滴后，進入尾氣破壞器反應罐。尾氣破壞器采用加熱催化的方式將臭氧分解，整個尾氣破壞裝置的控制由尾氣破壞箱控制。經臭氧尾氣破壞裝置的出口氣體臭氧濃度小于0.1ppm，可直接排放到大氣中。
玻璃管的檢修：
（1）首先切斷設備電源、關斷冷卻水進出閥、關閉進出氣口，并將發生室內的氣體放空，確保發生室內外壓力相等。
（2）拆卸發生室封頭連接螺栓，打開封頭。并放置段時間，以流通內部的粉塵和殘余氣體。
（3）拆除連接高壓端子以及電極間的不銹鋼連接片（要記好連接方式，以便恢復）。
（4）用手輕輕抽出內電極組件（包括金屬內管、絲網、螺母、鞍形墊片和玻璃管）?？善鸪槿?，也可以先抽出內電極管再抽取玻璃管。
提示：操作過程中要帶掛膠的線手套，操作時要輕；如果有的管較緊，要先輕輕轉動，邊轉邊向外抽，避免玻璃管破損，傷害操作人員。
（5）清洗內電極管（包括不銹鋼管、絲網、鞍形點墊片）和玻璃管，可采用酸洗的辦法進行。
提示：酸洗后必須用純凈水*沖洗干凈，然后吹干或自然晾干，吹干或自然晾干的內電極管適當存放，防止二次污染。所有操作過程要輕拿輕放，防止損壞玻璃管。
（6）發生室清洗：將發生室的進、出氣口與管路斷開，防止在清洗發生室內腔時有水或其它雜質進入到氣管中。先用純凈水沖洗發生室，然后用百潔布清除放電腔內的雜質，如有必要可蘸對不銹鋼無腐蝕的溶劑進行清洗。然后再用純凈水清洗干凈，并晾干。
（7）纏繞定位膠帶：在清洗干凈的玻璃管外壁粘貼三道膠帶，玻璃管兩端約200mm處各道膠帶，中間道膠帶。
提示：在取玻璃管時要配戴絲質手套，防止污染玻璃管。如有必要，需要用干凈的無紡布蘸酒精擦拭干凈后再粘貼膠帶。
（8）將內電極管穿入粘好的玻璃管。
提示：穿玻璃管時應輕柔緩慢的進行，松緊適度。有時可能出現穿管困難，此時嚴禁強行穿管，應調換組玻璃管繼續進行。
（9）將組裝好的玻璃管裝入發生室。
