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在飲用水處理方面，臭氧主要有三種方式得以應用:
①臭氧作為飲用水的消毒劑，在歐洲使用尤為廣泛，但臭氧消毒后還需要在管網前端投加定的余氯以維持管網系統的水質穩定。
②在混凝沉淀池前投加臭氧，作為給水處理的預處理，作用是氧化鐵、錳等離子，去除色度和臭味，改善絮凝和過濾效果，取代加氯，有效減少鹵代烴消毒副產物的生成。
③在飲用水的深度處理方面，臭氧常與顆粒活性炭組成臭氧生物活性炭工藝，通過臭氧氧化、活性炭吸附和微生物降解等多重作用，有效提升出水水質。在污水處理方面，臭氧與多種技術結合已經得到了較為廣泛的應用，如臭氧紫外線、臭氧過氧化氫、臭氧催化氧化等。 在內近年新建的批污水廠和再生水廠中，臭氧高氧化技術作為深度處理、脫色、消毒工藝被廣泛采用。
臭氧為了混合氣體其濃度通常按質量比和體積比來表示。質量比是指單位體積內混合氣體中含有多少質量的臭氧，常用單位mg/L、mg/m3或g/m3等表示。體積比是指單位體積內臭氧所占的體積含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。衛生經常用ppm表示臭氧濃度，即每立方臭氧混合氣體中臭氧占該體積的百萬分之為1ppm。臭氧的濃度是衡量臭氧發生器技術含量和性能的重要指標。同等的工況條件下臭氧輸出濃度越高其品質度就越高。影響臭氧濃度的主要因素有：
1、臭氧發生器的結構和加工精度；
2、冷卻方式和條件；
3、驅動電壓和驅動頻率；
4、介電體材料；
5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。
6、發生器電源系統的效率。
大型臭氧發生器設備用于水廠消毒的優勢：
、有效
紫外線消毒存在距離短、能力弱、有死角等問題，效率低。而臭氧是種氣體，經臭氧發生器產生之后，可快速彌漫到食品車間、辦公區等需要消毒的場所，且可避免的空間死角問題。
二、快速
臭氧主要利用其強氧化性進行消毒，這種消毒的過程在瞬間完成，速度比氯等消毒劑快許多倍。
三、廣譜
臭氧是種廣譜劑，不僅可殺滅有害菌的繁殖體、芽孢、病毒、真菌和原蟲孢體等多種微生物，還可殺滅破壞肉毒桿菌和毒素及立克次氏體等。
四、操作方便
臭氧設備可安裝在室內或空調系統、空氣凈化系統、大的設備中，可根據所需臭氧的濃度及時間，自動設置臭氧設備的時間，操作方便。而使用環氧乙酸、醋酸、甲醛消毒，所需的時間較長。
五、環保衛生
臭氧消毒之后，會很快自行分解為氧氣，沒有殘留，沒有二次污染，是種環保型消毒劑。
六、經濟實惠
很多人認為，在食品、藥品、化妝品等產品生產過程中，使用臭氧發生器消毒，要耗費較高的成本。其實，這種看法是錯誤的。臭氧發生器的使用簡單，插電即可使用，不需要復雜的操作，不需要人員來使用，這可節約用人方面的工資。同時，使用臭氧發生器的能耗相對較小。
