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我自來水廠開始規模化應用臭氧處理技術已經有 20 多年時間，《生活飲用水衛生標準》的頒布實施，有力地推動了臭氧-活性炭深度處理技術的發展。近幾年， 各地很多中小規模的的新建、改建水廠開始采用臭氧處理工藝，并采用產臭氧設備。臭氧發生器可以使用山東和創智云。
臭氧發生器是用以制得活性氧汽體（O3）的設備。活性氧便于溶解沒法存儲，需當場制得當場應用（特的狀況下可開展短期內的存儲），因此因此能采用活性氧的場地均需應用臭氧發生器。按活性氧造成的方法區劃，現階段的臭氧發生器關鍵有幾種：髙壓充放電式、紫外光直射式、鈦電式。
髙壓充放電式臭氧發生器是應用必須頻率的髙壓電流量生產制造髙壓電暈靜電場，使靜電場內或靜電場周邊的氧原子產生電化學腐蝕，進而生產制造活性氧。這類臭氧發生器具備技術性成熟期、工作中平穩、使用期長、活性氧生產量大等優勢，因此是世界各有關制造應用普遍的臭氧發生器。
臭氧處理于凈水處理的意義：
自來水凈水處理中，所適用臭氧處理的是深度凈水處理域。普通標準凈水系統(絮凝、沉淀、過濾系統)無法供給符合水質標準的水廠成原水水質靠凈水設施難運行管理的水廠，就需要附設深度凈水處理設備。方法之是臭氧處理，但日本自來水臭氧與有機物的反應而生成副生成物，所以不單使用臭氧，而在處理后段并用活性碳。
深度凈水處理中，臭氧的作用是用所具有比氯強得多的氧化力去除異味及色度，并減少有機氯化合物等，臭氧處理作為水處理單元，在如下幾點優于其他的處理方法。
1、具有很好的除異味、脫色效果。---對于去除薯蕷皂苷、二甲異茨醇(2-MIB)等的異臭味及源自腐殖質等的色度、或去除因氯而成異臭味的酚類均有效果。
2、增強有機物的生物降解性。---使高分子物質低分子化，硫水性物質成親水化，以增加難降解有機物的生物降解性，從而提高后段顆粒活性炭(生物活性炭)的處理性能。
3、減少氯需求量。如在氯注入前注入臭氧，可降低氯的耗量。
4、對鐵、錳的氧化能力強。
