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臭氧氧化法脫硝主要是利用臭氧的強氧化性，將不可溶的態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物，然后在洗滌塔內將氮氧化物吸收，達到脫除的目的。該脫硝系統在不同的 NOx 等污染物濃度和比例下，可以同時有效率脫除煙氣中的 NOx、二氧化硫和顆粒物等污染物，同時還不影響其他污染物控制技術，是傳統脫硝技術的個有效補充或替代技術。而制備臭氧的設備就是臭氧發生器。
臭氧發生器分類：
1、按每小時產生臭氧量， 臭氧發生器分為小型（5g/h～100g/h） 、 中型（>100g/h～1000g/h）和大型（>1kg/h）。
2、按臭氧發生單元的結構形式，臭氧發生器分為管式和板式。目前，工業應用普遍采用管式臭氧發生器。
3、按介質阻擋放電的頻率， 臭氧發生器分為工頻（50Hz、 60Hz） 、 中頻（100Hz～1000Hz）和高頻（>1000Hz）。工頻臭氧發生器放電所需的電壓高，臭氧出氣濃度低，體積大，效率低，目前處于逐步淘汰的階段。
4、按供氣氣源，臭氧發生器分為空氣型和氧氣型?？諝庑鸵愿稍餄崈舻膲嚎s空氣為原料；氧氣型以工業氧氣或現場制氧為原料。
5、按冷卻方式，臭氧發生器分為水冷卻和空氣冷卻，用于水處理、煙氣處理等域的大型臭氧發生器多為水冷卻；用于空氣消毒、果蔬保鮮等域的小型臭氧發生器多為空氣冷卻。
臭氧發生器的好處：
1、臭氧氧化處理廢水可有i效去除污水的色度、污染物、消毒、降解COD，對臟水進行深度處理，可以將臟水中的頑固臟染物質去除掉。可以殺滅包括抗氯性強的病毒和芽孢在內的所原微生物，臭氧分解后變成氧氣，增加水中的溶解氧，改善水質。
2、臭氧具有速度快，是氯的幾百倍，具有抑制細菌再次產生的功能，臭氧的Z終產物是氧氣，不會產生有害物質。
臭氧能將水中不易降解的大分子有機物氯化分解為小分子有機物，并向水中充氧使水中溶解氧增加，為后續處理(特別是生物處理)提供了更好的條件。
3、污水處理臭氧發生器的外殼由堅固的不銹鋼打造，內置進口高硼硅介質管，進口石英管放電管，設計使用壽命長，結構設計合理，占地面積小，整套設備可使用十幾年，運行經濟，功耗低，幾乎免于維護。
