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北京華旭世紀科技有限公司
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HXMF02系列氣體質量流量計/控制器采用了毛細管熱傳感技術和熱溫差原理，即流動中的流體與熱源之間熱量交換關系，來測量和控制氣體的質量流量，體積小巧精致，產品堅固耐用。
產品描述：：
北京華旭世紀HXMF02系列氣體質量流量計/控制器，采用了毛細管熱傳感技術和熱溫差原理，即流動中的流體與熱源之間熱量交換關系，來測量和控制氣體的質量流量。由于熱溫差只和氣體的質量流量有關，因此其測量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
HXMF02系列氣體質量流量計/控制器，采用了緊湊型設計，體積小巧精致，產品堅固耐用。產品使用了線性化校正電路和EMI保護，具備安全可靠、性能穩定、低功耗、壽命長等特點。
HXMF02系列 在數據傳輸上，不但具備傳統的有線式，還具備局域網無線傳輸數據，互聯網遠程數據監控云平臺等強大功能。可有效地滿足各種客戶的不同工況需求，廣泛應用于諸多工業和科研領域。
產品特色：：
● 快速響應
●
● 測量精確，出色的*穩定性
● 可測量腐蝕性氣體，堅固耐用
● 精巧的外觀設計，全面的安全保護電路及EMI
● 可配顯示表，顯示瞬時流量
● 諸多選項：高精度、自定義量程、流量信號無線傳輸
遠程數據監控云平臺、短信報警、郵件報警等
典型應用：：
· 光伏及晶體制備 · 真空行業及鍍膜 · 泄漏檢測
· 爐窯及微反應裝置 · 半導體行業 · 大學/研究所
· 分析儀器 · 氣體混合配比 · 計量及計價
· 燃料電池 · 燃燒測試 · 其它氣體測控場合
性能指標：：
介質要求：與介質兼容的氣體，支持腐蝕性氣體
介質種類：客戶，也可現場更改-需咨詢我們
標定工況：0℃ @ 1 atm（氮氣）
測控量程：從0～5sccm到0～30slm任選
量程比：50:1
精度：±1.5%滿量程（>15L為2%） 高精選項：±1%滿量程、±1%讀數
重復性：±0.2%滿量程
流量分辨率：0.1%滿量程
響應時間：2S
閥門狀態：常閉（僅控制器，流量計無閥門）
工作溫度：5～45℃
工作濕度：0～*RH（無冷凝）
工作壓差范圍：流量計 0.02MPa～3MPa
控制器 0.1～0.5MPa（>10SLM為0.1～0.3MPa）
zui大耐壓：3MPa，可選高壓選項10MPa
輸入輸出信號：標準為0～5V
可選4～20mA、1～5V、Modbus、RS485
輸入輸出電氣參數：輸入阻抗＞100kΩ，輸出電流＜3mA
供電電壓：+15VDC@50mA -15VDC@200mA
電氣接口：DB 15pin
泄漏率：≤1×10-9次方Pa·立方米 /S（He）
接液材質：316L SS
密封材料：根據氣體種類由廠家選擇或客戶，包括：PTFE、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等
管道接頭：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8雙卡套，3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸：長×寬×高：127×30×100mm
產品重量：流量計0.72kg
控制器0.88kg
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