電子行業用超純水設備整體組成主要包括石英砂過濾器、活性炭過濾器、軟化器、精密過濾器、反滲透主機、EDI電除鹽系統等裝置。不僅如此，超純水設備采用PLC可編程控制裝置，因此可以實現無人值守的目的。

電子行業用超純水設備的工藝
　　1、采用離子交換樹脂制備電子工業超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制備電子工業超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

　　3、采用反滲透設備與電去離子(EDI)設備進行搭配制備電子工業超純水的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環保，經濟，發展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→多介質過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

電子行業用超純水設備的優點
　　1、無需酸堿再生：在混床中樹脂需要用化學藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工，保護了環境。

　　2、連續、簡單的操作：在混床中由于每次再生和水質量的變化，使操作過程變得復雜，而EDI的產水過程是穩定的連續的，產水水質是恒定的，沒有復雜的操作程序，操作大大簡便化。

　　3、降低了安裝的要求：超純水處理設備采用積木式結構，可依據場地的高度和靈活地構造。模塊化的設計，使EDI在生產工作時能方便維護。