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株洲紅亞電熱設備有限公司
株洲紅亞電熱設備有限公司生產的化學氣相沉積爐主要用途:
本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產。
特點:
采用多功能高溫設計,可實現化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
使用溫度高達2600,并可長時間穩定可靠運行。
采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統,可實現全溫度段的顯示和控制。
采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統,使得設備節能省電,諧波分量小,對外部設備無干擾。
進出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產品的穩定性。
采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
特制的過濾系統,對炭沉積過程中產生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理;
化學氣相沉積石墨化一體爐技術參數
參數 型號 | HYSJL-3040 | HYSJL-4050 | HYSJL-5060 | HYSJL-6080 | HYSJL-8080 | ||||||||||
工作區尺寸DXH(mm) | Ф300X 400 | Ф400X 500 | Ф500X 600 | Ф600X 800 | Ф800X 800 | ||||||||||
zui高工作溫度(℃) | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | 1500 | 2600 | |||||
溫度均勻性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ||||||||||
工作電壓(V) | 三相380 | ||||||||||||||
額定功率(KW) | 40 | 80 | 60 | 150 | 80 | 160 | 90 | 200 | 160 | 350 | |||||
工作氣氛 | 真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣 | ||||||||||||||
以上化學氣相沉積爐技術參數可根據工藝參數進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。可將化學氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開,單獨做成化學氣相沉積爐和高溫石墨化爐。 |
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