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油封式機械真空泵是用油來保持運動部件的密封、靠泵腔容積變化而實現抽氣的機械真空泵。工作原理是使泵腔工作室容積機械地增大和縮小而抽氣。當泵腔內工作室容積變得小時,與泵的入口管道連通,于是氣體進入泵吸入腔,一直到吸入腔容積大并重新與進氣口分開時為止。當容積減少時,氣體被壓縮,直到氣體的壓力大于一個大氣壓,排氣閥被打開,將氣體排出。油封式機械真空泵按結構型式可分為定片式、旋片式和滑閥式三種。他們都是利用真空泵油來潤滑、密封和降溫;都是靠轉子在泵殼內運動使轉子、葉片、泵殼之間的容積周期性變化,以達到抽氣和排氣的目的。
一、定片式真空泵
其結構簡單且使用壽命長,檢修容易,雙級泵的極限真空度可達10–3Torr,但抽速較小,應用很少。
二、普諾克旋片式真空泵
分為單級旋片式真空泵(由定子、旋片、轉子等組成,只有一個工作室)和雙級旋片式真空泵(它由兩個工作室組成,兩室前后串聯,同向等速旋轉,Ⅰ室為Ⅱ室的前級)。
三、滑閥式真空泵
主要由泵體及內部做偏心轉動的滑閥部件、半圓形的滑閥導軌、排氣閥、軸等組成。
不管是油封式真空泵還是干式真空泵,在抽除可凝性氣體的過程中,一旦被抽氣體的壓力超過當時該氣體的飽和蒸氣壓,就會出現可凝性氣體的凝結現象。而油封式真空泵因為泵腔內有潤滑油的存在,當出現可凝性氣體凝結的時候,凝結液化的氣體一方面會造成泵油污染,久而久之就會發生泵油乳化,使之失去潤滑保護作用;另一方面凝結后的氣體在返回低壓端的時候會重新蒸發,造成真空泵的真空性能及抽氣效率下降。氣鎮就是為解決油封式真空泵的這種現象而設置的。
油封式真空泵的工作原理較為簡單,即在可凝性氣體的分壓要超過該氣體的飽和蒸氣壓而泵腔內的整體壓力卻未達排氣壓力時,通過氣鎮適時地充入干燥性氣體,使泵腔內的整體壓力提前達到排氣壓力,進行排放,進而阻止可凝性氣體凝結。排放過程中,充入的久性氣體也會隨原有泵腔內的氣體一同排出。
以上就是氣鎮在油封式真空泵中所起的作用。但即使是有氣鎮的存在,油封式真空泵也只是適合抽除一定量的可凝性氣體的介質環境,一旦大量出現,效率就無法保證。而干式真空泵也有可能出現氣體凝結的現象,但由于干式真空泵中沒有泵油,因此對可凝性氣體的抽除性能要優于各類油封式真空泵。
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