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硅烷廢氣處理興邦硅烷廢氣處理一般用燃燒法和洗滌法:1、燃燒法在多晶硅廢氣、廢液處理中,采用高溫焚燒將廢氣、廢液轉化為HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等產物,廢氣、廢液焚燒的工作原理是將有機廢水霧化、廢氣噴入焚燒爐,通入供給氧氣(空氣)和助燃燃料后點火燃燒,完成廢氣物的氧化熱解處理
硅烷廢氣處理
興邦硅烷廢氣處理一般用燃燒法和洗滌法:
1、燃燒法
在多晶硅廢氣、廢液處理中,采用高溫焚燒將廢氣、廢液轉化為HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等產物,廢氣、廢液焚燒的工作原理是將有機廢水霧化、廢氣噴入焚燒爐,通入供給氧氣(空氣)和助燃燃料后點火燃燒,完成廢氣物的氧化熱解處理。
2、洗滌塔
通過焚燒爐焚燒后的廢氣再通過洗滌塔,對焚燒后的產物的深度洗滌處理,實現無害化、資源化處理,達到國家環保規定標準,高空排放。
3、洗滌塔簡介
在洗滌塔中,廢氣從塔下部進入,經過填料表面與水膜充分接觸,塔內設置一排或數排噴嘴,水霧在重力作用下向下運動,與廢氣氣流方向相反,廢氣氣流經水霧酸堿中和凈化后向上排出,在氣體排出之前設脫水層將氣流中的水滴捕集下來,防止帶出塔體外。硅烷廢氣處理
廢氣經水霧捕集后進入循環水箱,經過酸堿中和凈化處理。由于廢氣在洗滌過程會有部分物質溶解于水中,使得循環水在長期運行后堿性濃度會降低,所以經常應向水池中補充適量的反應液,以使循環水保持一定的酸堿中和反應能力。
硅烷廢氣處理,李
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