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福德世儀器(杭州)有限公司
混合氣體發生器HovaGas
HovaGAS是一種便攜式的混合氣體發生器,可精確混合氣體。 它運用了經過認證的質量流量技術和的微處理技術。
熱式質量流量控制器 (MFC)能在很大范圍內測量和控制氣體流量,并不受氣體溫度和壓力的影響。其工作原理基于對熱量傳導和流量的測量。
HovaGas將質量流量控制器的優點與智能操控結合起來,通過靈敏的按鍵和圖像顯示屏(觸屏)實現儀表操作。
HovaGas 的核心是數字氣量控制單元(GMU)—一個專為混合氣體而設計的微處理器。它通過可視化的人機交互軟件實現流量的實時控制。
質量流量控制器
功能
HovaGAS能通過接口RS232與電腦連接,實現遠程操控。Windows操作系統的電腦安裝軟件viewGAS后,HOVAGAS的操作界面將以流程圖的形式展現。HovaGas 的所有功能(包括數據的讀取和存儲)都可以遠程操控。此外viewGAS 還可以定時控制氣體濃度輸入。
每一個氣體流量和濃度都會展示在趨勢圖。一個合適的校準方案會產生多項式曲線,擴大存儲空間。
技術優勢
?自動調節濃度
?自動計算氣體流量
?壓差和溫差不影響質量流量測量
?內部存儲校準數據
?高精度經過多項校準
?同時最多混合8種氣體
?測量和規定范圍可根據客戶要求定制
?通過接口與外部PC連接控制
?自動程序控制
?通過校準檢查質量流量控制器
|
技術參數
氣體通道數量 | 最多8個 |
測量范圍(可根據要求定制) | 最小: 3 mln/min / .: 1000 ln/min |
測量規定范圍 | 流量的10-99% |
混合和稀釋比例 | 取決于質量流量控制器和總流量:1:1000000 |
精度(經多項校準) | 優于測量值的0.5% |
再現性 | 優于限值的0.1% |
觸屏 | PTFE, 不銹鋼SS316,Viton® 可選: Kalrez® |
輸入壓力范圍 | 0.5-5.0 bar可根據要求調節 |
輸出壓力 | 比入口壓力低100 mbar |
壓力偏差 | 在上述壓力范圍內可忽略不計 |
氣體接口 | 6 mm Swagelok卡套接口或根據客戶需求定制 |
混合區 | 內部,可選外部 |
預熱時間 | 30min |
屏幕 | LCD 藍色/白色 240 x 128 dot 背景照明Touch-Felder觸摸領域 |
電壓 | 110-240 V |
外殼 | 箱體,可選臺式或19“-插入式 |
箱體尺寸 | 53 x 21 x 44 cm (W x H x D) 做多帶5個質量流量控制器 |
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