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陜西甘泉環保工程有限公司
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主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。陜西電子加工廢氣處理設備參數
電子工業中的VOCs種類常見的有30多種，主要來自半導體器件、電子元器件、電子組件、平板顯示器、整機機殼的表面涂層工藝使用溶劑型涂料、清洗工藝(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、電路板清洗、電子組件清洗等)使用有機脫脂劑、脫水劑，感光成像工藝中的光刻膠稀釋劑、顯影劑、脫膠劑、液態阻焊膜劑、去膜劑等使用有機溶劑，去光刻膠類化合物如陜西電子加工廢氣處理設備參數DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA則屬于高沸點的硫類和胺類之有機溶劑。
針對電子行業VOCs排放特點采用相應末端治理技術，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對非極性化合物有較強的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達到90%以上。陜西電子加工廢氣處理設備參數
沸石濃縮轉輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪，廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區，使VOCs得到濃縮，再經脫附燃燒處理，去除效率可在98%。
對于半導體、TFT—LCD和LED、PCB等企業，有機廢氣一般還含有酸性氣體、堿性氣體和一些氣體，治理技術一般采用組合方式，前端通過噴淋塔淋洗，后接沸石濃縮轉輪+焚燒方法，對電子終端產品企業，多采用活性炭吸附，進行“三防”噴涂需增加除漆霧裝置(水簾或高密度纖維過濾)。
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